[发明专利]谐振器及滤波器

说明书

本申请涉及滤波器技术领域，公开一种谐振器，包括：压电层、第一电极、第二电极、第三电极和第二电极；压电层一侧与第一电极的一侧连接；第一电极另一侧连接有第三电极；第二电极连接压电层的另一侧；第一电极、第二电极和压电层在谐振器的厚度方向上的重叠区域构成谐振器的有效区域；第三电极在谐振器的横向方向上位于有效区域之外；第四电极与第二电极连接，第四电极与压电层位于第二电极的同侧且第四电极与第一电极之间绝缘。采用本申请提供的谐振器，能够在谐振器电极变薄的情况下，在不影响谐振器的谐振同时不会增大谐振器的有效电阻。本申请还公开一种滤波器。

技术领域

本申请涉及滤波器技术领域，例如涉及一种谐振器及滤波器。

背景技术

随着通信技术的演进，数据传输速率的提高，射频通信系统中对滤波器性能的要求也越来越高，其中就包括（1）滤波器功率承受能力要求从原来的29dBm上升到32dBm；（2）载波频率增高，载波频率由原来的最高2.7GHz增加到现在的6.5GHz。谐振器作为滤波器的核心器件，要使载波频率增高需要减小谐振器的尺寸。谐振器尺寸的减小包括谐振器厚度的减小，即将谐振器的电极厚度变薄。如图1、图2和图3所示，图1为现有谐振器的结构示意图，图2为现有谐振器的A-A截面的剖面示意图，谐振器包括第一电极1、第二电极3、压电层4和支撑层6。图3为现有技术中的滤波器的结构示意图。

在实现本发明实施例的过程中，发现相关技术中至少存在如下问题：

将谐振器的电极厚度变薄会增大谐振器的有效电阻，导致滤波器的插入损耗增大。

发明内容

为了对披露的实施例的一些方面有基本的理解，下面给出了简单的概括。所述概括不是泛泛评述，也不是要确定关键／重要组成元素或描绘这些实施例的保护范围，而是作为后面的详细说明的序言。

本发明实施例提供了一种谐振器及滤波器，以能够在谐振器的电极厚度变薄的情况下不会增大谐振器的有效电阻。

在一些实施例中，所述谐振器包括：压电层，一侧与第一电极的一侧连接；所述第一电极，另一侧连接有第三电极；第二电极，连接所述压电层的另一侧；所述第一电极、所述第二电极和所述压电层在谐振器的厚度方向上的重叠区域构成谐振器的有效区域；所述第三电极，在谐振器的横向方向上位于所述有效区域之外；第四电极，与所述第二电极连接，所述第四电极与所述压电层位于所述第二电极的同侧且所述第四电极与所述第一电极之间绝缘。

在一些实施例中，所述第三电极的厚度为所述第一电极的厚度的1.5倍以上，或，所述第三电极的厚度为所述第二电极的厚度的1.5倍以上。

在一些实施例中，谐振器的横向方向上，所述第三电极与所述有效区域之间的距离大于或等于2微米。

在一些实施例中，在谐振器的横向方向上所述第四电极与所述第一电极之间存在间隙，且，在谐振器的横向方向上所述第四电极与所述第三电极之间存在间隙。

在一些实施例中，所述第三电极由铜、铝或金制成。

在一些实施例中，所述压电层、第一电极、第二电极、第三电极和第四电极构成体声波谐振结构；所述谐振器还包括支撑层，所述体声波谐振结构设置在所述支撑层上。

在一些实施例中，所述滤波器包括：第一谐振器，所述第一谐振器的第二电极为所述滤波器的输入端；所述第二谐振器，所述第二谐振器的第二电极为所述滤波器的输出端；所述第三谐振器，所述第三谐振器的第二电极为所述滤波器的接地端；所述第一谐振器的第一电极、第二谐振器的第一电极和第三谐振器的第一电极相互连通；所述第一谐振器、所述第二谐振器和所述第三谐振器均为上述的谐振器。

在一些实施例中，第一谐振器的第三电极、第二谐振器的第三电极和第三谐振器的第三电极相互连通。

在一些实施例中，在所述第一谐振器、第二谐振器和第三谐振器的第三电极上均设置有缺豁。