[发明专利]一种多功能的纳米压印系统

权利要求书

1.一种多功能的纳米压印系统，包括基片、工作模具，其特征在于：还包括工作模具承载台单元，在所述工作模具承载台单元一侧设置基片承载板单元，另一侧设置工作模具承载板单元，还包括位于所述工作模具承载台单元正上方的对准单元，以及位于所述基片承载板单元正上方的紫外固化单元；

所述基片承载板单元用于承载基片，在所述基片承载板单元的上表面设有圆形真空槽，所述圆形真空槽内设有真空孔；

所述基片承载板单元靠近工作模具承载台单元的一侧设有旋转轴，所述旋转轴卡接支撑柱，所述支撑柱上端且靠近工作模具承载台单元一侧设有支撑挡块，所述支撑柱下端连接有电机，电机能够带动基片承载板单元上下移动；

在所述工作模具承载台单元左侧设有基片承载板底座，用于支撑所述基片承载板单元。

2.根据权利要求1所述的多功能的纳米压印系统，其特征在于：所述工作模具承载板单元位于所述工作模具承载台单元的右侧，所述工作模具承载台单元用于吸附固定第二工作模具；

所述工作模具承载板单元包括承载板中心区域设置的透明区，承载板上表面还设有方形真空槽，方形真空槽槽内设有真空孔；方形真空槽槽外设有工作模具定位槽；

所述工作模具承载板单元靠近工作模具承载台单元的一侧设有旋转轴，并且能够绕支撑柱旋转；支撑柱上端靠近工作模具承载台单元一侧设有支撑挡块，支撑柱下端连接电机，电机带动工作模具承载板单元上下移动，在所述工作模具承载台单元右侧还设有工作模具承载板底座。

3.根据权利要求2所述的多功能的纳米压印系统，其特征在于：所述工作模具承载台单元包括设置在其上表面的方形真空槽，方形真空槽固定工作模具的边沿，所述方形真空槽槽内设有真空孔，方形真空槽槽外设有工作模具定位槽；

所述工作模具承载台单元还包括设置在方形真空槽外的顶柱，所述顶柱至少包括三个，所述顶柱穿过工作模具承载台单元，通过固定块连接在顶柱电机；工作模具承载台单元下方连接有升降柱，升降电机使得所述升降柱伸长或者收缩，带动工作模具承载台单元向上或者向下移动；

所述升降电机下方依次设有第一位移平台、第二位移平台、旋转平台，所述升降电机固定在第一位移平台上，第一位移平台和第二位移平台能够驱动工作模具承载台单元前后移动和左右移动；旋转平台设置在第二位移平台下方，能够带动工作模具承载台单元旋转；

所述工作模具承载台单元能够吸附固定第一工作模具，并配合对准装置完成对位动作。

4.根据权利要求3所述的多功能的纳米压印系统，其特征在于：所述对准单元包括对准装置，所述对准装置至少包括两个；对准装置固定在固定板上，固定板通过连接块连接在伸缩柱，电机驱动伸缩柱伸长或者收缩，从而带动对准装置向下移动或者向上移动；所述对准单元位于所述工作模具承载台单元的正上方，所述对准单元能够观察基片对位标记和工作模具对位标记的相对位置，并把实时图像展示在屏幕上。

5.根据权利要求1所述的多功能的纳米压印系统，其特征在于：所述紫外固化单元包括固定在设备壳体上的支撑柱，支撑柱上设有上限位块和下限位块，支撑柱上还设有升降块，升降块带动紫外灯上下移动；在升降块上安装有电机，电机带动伸缩杆伸长或者收缩，从而带动紫外灯左右移动；

所述紫外固化单元位于所述基片承载板单元的左侧，并且所述紫外固化单元可在双面压印完成后，发出紫外线，固化纳米压印胶。

6.根据权利要求1所述的多功能的纳米压印系统，其特征在于：所述基片固定在所述基片承载板单元上，并且所述基片上设有基片对位标记。

7.根据权利要求1所述的多功能的纳米压印系统，其特征在于：所述工作模具包括第一工作模具和第二工作模具，所述第一工作模具固定在工作模具承载台单元上表面，所述第二工作模具固定在工作模具承载板单元上表面，在工作模具上还设有与基片对位标记相对应的工作模具对位标记。