[发明专利]显示装置的制造装置以及显示装置的制造方法

权利要求书

1.一种显示装置的制造装置，包括：

激光模块，发出激光束；以及

第一光学系统，布置在所述激光模块的一侧，所述激光束进入所述第一光学系统，

其中，所述第一光学系统控制所述激光束的能量分布曲线，

在相对于所述激光束的焦点位于所述激光束的行进方向一侧的第一照射表面，所述激光束的所述能量分布曲线包括从边缘朝向中心部而逐渐增加后减小的第一峰。

2.如权利要求1所述的显示装置的制造装置，其中，

在所述第一照射表面，所述能量分布曲线在所述中心部具有极小值的能量。

3.如权利要求2所述的显示装置的制造装置，其中，

在所述中心部，所述激光束的能量为0。

4.如权利要求1所述的显示装置的制造装置，其中，

在所述第一照射表面，所述能量分布曲线还包括在所述激光束的所述中心部形成的第二峰。

5.如权利要求4所述的显示装置的制造装置，其中，

在所述第二峰处的能量小于在所述第一峰处的能量。

6.如权利要求1所述的显示装置的制造装置，其中，

所述第一照射表面与所述激光束的行进方向垂直。

7.如权利要求1所述的显示装置的制造装置，其中，

所述激光束通过多个光斑重叠并移动而形成束线，

所述束线的能量分布曲线包括第一区间和第二区间，在所述第一区间，能量从所述束线的边缘朝向中心部而逐渐增加，所述第二区间位于所述第一区间的内侧且呈现恒定的能量。

8.如权利要求7所述的显示装置的制造装置，其中，

在所述束线中，所述第一区间的面积小于所述第二区间的面积。

9.如权利要求7所述的显示装置的制造装置，其中，

在所述束线中，所述多个光斑的重叠率为80％以上。

10.如权利要求7所述的显示装置的制造装置，其中，

所述激光束的所述光斑从平面图上看具有圆环形状。

11.如权利要求1所述的显示装置的制造装置，其中，还包括：

第二光学系统，经过所述第一光学系统的所述激光束进入所述第二光学系统，

所述第二光学系统控制所述激光束的光路径。

12.如权利要求11所述的显示装置的制造装置，其中，

所述第二光学系统包括多个镜部，

所述第二光学系统扫描所述激光束。

13.如权利要求11所述的显示装置的制造装置，其中，还包括：

第三光学系统，经过所述第二光学系统的所述激光束进入所述第三光学系统，

其中，所述第三光学系统控制所述激光束的焦点面的形状。

14.如权利要求13所述的显示装置的制造装置，其中，

经过所述第三光学系统的所述激光束的所述焦点面为平面。

15.一种显示装置的制造方法，包括如下步骤：

准备包括控制激光束的能量分布曲线的光束整形器的激光装置以及贴附有包括膜部和粘结部的保护膜的基板；

向所述基板上照射所述激光束而去除所述膜部以及所述粘结部；以及

剥离所述保护膜的虚设区域，

其中，在所述保护膜处，所述激光束的一光斑从平面图上看具有圆环形状。

16.如权利要求15所述的显示装置的制造方法，其中，

在向所述基板上照射所述激光束的步骤中，在所述保护膜的内部布置有相对于所述激光束的焦点位于所述激光束的行进方向一侧的第一照射表面。