[发明专利]一种新型的用于离子注入机的离子源的阴极固定装置

权利要求书

1.一种用于离子注入机的离子源的阴极固定装置，其特征在于，包括：

紧固件；

卡具，所述卡具设置在阴极外围，其上设置有凸块，所述凸块上设置有连接孔，所述连接孔用于配合紧固件将所述卡具固定在阴极上；以及

支撑结构，所述支撑结构通过紧固件与所述凸块连接。

2.根据权利要求1所述的阴极固定装置，其特征在于，所述卡具包括：

第一卡箍，所述第一卡箍的两端分别设置有第一凸块和第二凸块，所述第一凸块上设有第一连接孔，所述第二凸块上设有第二连接孔；以及

第二卡箍，所述第二卡箍的两端分别设置有第一凸块和第二凸块，所述第一凸块上设有第一连接孔，所述第二凸块上设有第二连接孔；并且

所述支撑结构包括第一支撑结构和第二支撑结构，所述第一支撑结构通过紧固件与所述第一凸块连接，所述第二支撑结构通过紧固件与所述第二凸块连接。

3.根据权利要求1所述的阴极固定装置，其特征在于，所述卡具包括：

卡环，所述卡环两端分别设置有第三凸块，所述第三凸块上设置有第三连接孔，并且所述卡环的正中间设置有第四凸块，所述第四凸块上设置有第四连接孔；并且

所述支撑结构包括第三支撑结构和第四支撑结构，所述第三支撑结构通过紧固件与所述第三凸块连接，所述第四支撑结构通过紧固件与第四凸块连接。

4.根据权利要求1-3中任一项所述的阴极固定装置，其特征在于，所述阴极固定装置为对称结构。

5.根据权利要求1-3中任一项所述的阴极固定装置，其特征在于，所述支撑结构的顶端设置有带螺纹的孔洞；优选地，所述支撑结构为支撑杆。

6.根据权利要求5所述的阴极固定装置，其特征在于，紧固件为螺钉。

7.一种用于离子注入机的离子源，其特征在于，包括：

阴极，所述阴极具有杯状结构；

灯丝，设置在所述阴极中；

灯丝夹具，用于固定灯丝；以及

权利要求1-6中任一项所述的阴极固定装置。

8.利用权利要求1-6中任一项所述的固定装置固定阴极的方法，其特征在于，包括：

将卡具套装在阴极外围，再通过紧固件和连接孔将所述卡具固定在阴极上；以及

通过紧固件将支撑结构与所述卡具的凸块连接。

9.根据权利要求8所述的方法，其特征在于，包括：

将第一卡箍和第二卡箍套装在阴极上；

通过紧固件和第一连接孔来连接第一卡箍和第二卡箍上的第一凸块，并且通过紧固件和第二连接孔来连接第一卡箍和第二卡箍上的第二凸块，从而将第一卡箍和第二卡箍固定在阴极上；以及

通过紧固件将第一支撑结构连接在所述第一凸块上，并且通过紧固件将第二支撑结构连接在所述第二凸块上，从而固定阴极。

10.根据权利要求8所述的的方法，其特征在于，包括：

将卡环套装在阴极上；

通过紧固件和第三连接孔来连接所述卡环两端的第三凸块；以及

通过紧固件将第三支撑结构连接在所述第三凸块上，并通过紧固件将第四支撑结构连接在第四凸块上，从而固定阴极。