[发明专利]无碱玻璃基板

权利要求书

1.一种无碱玻璃基板，其特征在于，作为玻璃组成，以摩尔％计含有SiO₂ 60～80％、Al₂O₃ 8～25％、B₂O₃ 0％以上且小于3％、Li₂O+Na₂O+K₂O 0％以上且小于1％、MgO 0～10％、CaO 1～15％、SrO 0～12％、BaO 0～12％、As₂O₃ 0％以上且小于0.05％、以及Sb₂O₃ 0％以上且小于0.05％，板厚为0.05～0.7mm，应变点为700℃以上，且β-OH值小于0.20/mm。

2.如权利要求1所述的无碱玻璃基板，其特征在于，作为玻璃组成，以摩尔％计含有SiO₂65～78％、Al₂O₃ 8～20％、B₂O₃ 0％以上且小于1％、Li₂O+Na₂O+K₂O 0％以上且小于0.5％、MgO 0～8％、CaO 1～8％、SrO 0～8％、BaO 1～8％、As₂O₃ 0％以上且小于0.01％、以及Sb₂O₃ 0％以上且小于0.01％，板厚为0.1～0.5mm，应变点为730℃以上，且β-OH值小于0.15/mm。

3.如权利要求1或2所述的无碱玻璃基板，其特征在于，B₂O₃的含量小于0.1摩尔％。

4.如权利要求1或2所述的无碱玻璃基板，其特征在于，B₂O₃的含量为0.1摩尔％以上且小于1摩尔％。

5.如权利要求1～4中任一项所述的无碱玻璃基板，其特征在于，作为玻璃组成，还含有0.001～1摩尔％的SnO₂。

6.如权利要求1～5中任一项所述的无碱玻璃基板，其特征在于，作为玻璃组成，还含有0.001～1摩尔％的Cl、以及0.0001～1摩尔％的SO₃。

7.如权利要求1～6中任一项所述的无碱玻璃基板，其特征在于，液相温度为1300℃以下。

8.如权利要求1～7中任一项所述的无碱玻璃基板，其特征在于，10^2.5dPa·s的粘度时的温度为1750℃以下。

9.如权利要求1～8中任一项所述的无碱玻璃基板，其特征在于，以5℃/分的升温速度从常温升温至500℃并在500℃保持1小时后，以5℃/分的降温速度冷却至常温时的热收缩值为20ppm以下。

10.如权利要求1～9中任一项所述的无碱玻璃基板，其特征在于，其用于有机EL器件的基板。

11.一种无碱玻璃基板的制造方法，其特征在于，具有以下工序：

熔融工序，对以得到以下无碱玻璃的方式调配而成的玻璃配合料，进行利用加热电极的通电加热而不进行利用燃烧器的燃烧火焰的加热，从而得到熔融玻璃，所述无碱玻璃，作为玻璃组成，以摩尔％计含有SiO₂ 60～80％、Al₂O₃ 8～25％、B₂O₃ 0％以上且小于3％、Li₂O+Na₂O+K₂O 0％以上且小于1％、MgO 0～10％、CaO 1～15％、SrO 0～12％、BaO 0～12％、As₂O₃ 0％以上且小于0.05％、以及Sb₂O₃ 0％以上且小于0.05％，应变点为700℃以上，且β-OH值小于0.20/mm；以及

成形工序，通过溢流下拉法将所得到的所述熔融玻璃成形为板厚0.1～0.7mm的平板形状。