[发明专利]对准装置和方法、成膜装置和方法及电子器件的制造方法

说明书

本发明提供对准装置和方法、成膜装置和方法及电子器件的制造方法，对准装置包括：对准测量位置信息存储部，存储与基板的对准测量位置相关的信息；以及测量部，根据基于与上述对准测量位置相关的信息获得的基板和掩模的对准标记的图像，测量基板与掩模的相对的偏移，与上述对准测量位置相关的信息包括在基板的至少一部分与掩模接触的状态下进行的对准工序中的与基板的位置相关的信息。

本发明申请是申请日为2018年8月31日、申请号为201811006627.2、发明名称为“对准装置和方法、成膜装置和方法及电子器件的制造方法”的发明专利申请的分案申请。

技术领域

本发明涉及对准方法和装置，特别涉及通过使进行对准的基板相对于掩模的相对位置根据基板和掩模的种类而不同，能够迅速且使对基板图案的损伤最小化的对准方法和装置。

背景技术

最近，有机EL显示装置作为平板显示装置崭露头角。有机EL显示装置作为自发光显示器，响应速度、视场角、薄型化等特性比液晶面板显示器优异，在监视器、电视机、以智能手机为代表的各种便携终端等方面，急速地替代了现有的液晶面板显示器。此外，其应用领域也广泛地分布于汽车用显示器等。

有机EL显示装置的元件具有在两个彼此相向的电极(阴极电极、阳极电极)之间形成有引起发光的有机物层的基本构造。有机EL显示器元件的有机物层及电极金属层通过在真空腔内经由形成有像素图案的掩模使蒸镀物质蒸镀到基板上而被制造，但是为了使蒸镀物质以所希望的图案蒸镀到基板上的所希望的位置，在进行向基板的蒸镀之前，不得不精密地对齐掩模与基板的相对的位置。

因此，在掩模与基板上形成标记(将其称为对准标记)，利用设置于成膜装置的照相机拍摄这些对准标记，以使标记的中心彼此一致的方式使掩模与基板相对地移动。

发明内容

发明要解决的课题

若重复进行掩模与基板之间的对准工序，则存在真空蒸镀工序所花费的时间(Tact)增大的课题。

本发明的主要目的在于，提供一种用于在降低对基板的损伤的同时迅速地进行掩模与基板之间的对准工序的对准方法、对准装置、成膜方法、成膜装置及电子器件的制造方法。

用于解决课题的技术方案

本发明的第一技术方案的对准装置包括：对准测量位置信息存储部，存储与基板的对准测量位置相关的信息；以及测量部，根据基于与上述对准测量位置相关的信息获得的基板和掩模的对准标记的图像，测量基板与掩模的相对的偏移，与上述对准测量位置相关的信息包括在基板的至少一部分与掩模接触的状态下进行的对准工序中的与基板的位置相关的信息。

本发明的第二技术方案的成膜装置包括：对准测量位置信息存储部，存储基板的对准测量位置信息；以及控制部，基于从上述对准测量位置信息存储部读取出的上述对准测量位置信息，对成膜装置进行控制，上述对准测量位置信息包括在基板的至少一部分与掩模接触的状态下进行的对准工序中的与基板的位置相关的信息。

本发明的第三技术方案的成膜装置包括控制部，该控制部从包括存储基板的对准测量位置信息的对准测量位置信息存储部在内的服务器接收该基板的上述对准测量位置信息，对成膜装置进行控制，上述对准测量位置信息包括在基板的至少一部分与掩模接触的状态下进行的对准工序中的与基板的位置相关的信息。

本发明的第四技术方案的对准方法包括：第1对准工序，在使基板从掩模的上表面分离的状态下，对齐基板和掩模的位置；以及第2对准工序，在使基板的至少一部分与掩模的上表面接触的状态下，对齐基板和掩模的位置，上述第2对准工序包括：读取与基板的第2对准测量位置相关的信息的阶段；基于与上述第2对准测量位置相关的上述信息，使上述基板相对于上述掩模移动到利用上述信息确定的位置的阶段；以及检测位于上述第2对准测量位置的上述基板和上述掩模的对准标记，测量上述基板与上述掩模之间的相对的偏移的阶段。