[发明专利]一种自隔离非对称垂直型瞬态电压抑制保护器件有效
申请号: | 202111325282.9 | 申请日: | 2021-11-10 |
公开(公告)号: | CN113764406B | 公开(公告)日: | 2022-03-01 |
发明(设计)人: | 朱伟东;赵泊然 | 申请(专利权)人: | 江苏应能微电子有限公司 |
主分类号: | H01L27/02 | 分类号: | H01L27/02 |
代理公司: | 北京中济纬天专利代理有限公司 11429 | 代理人: | 丁燕华 |
地址: | 213002 江苏*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 隔离 对称 垂直 瞬态 电压 抑制 保护 器件 | ||
1.一种自隔离非对称垂直型瞬态电压抑制保护器件,其特征在于,包括:
P型衬底;
N型基区,所述N型基区设置在P型衬底上端,所述N型基区外侧被P型衬底包裹,且所述N型基区的上端露出P型衬底,且与P型衬底齐平,所述N型基区的下端沉入P型衬底中;
P型基区,所述P型基区设置在P型衬底上端,所述P型基区外侧被P型衬底包裹,且所述P型基区的上端露出P型衬底,且与P型衬底齐平,所述P型基区的下端沉入P型衬底中,所述P型基区和N型基区并列设置,且与N型基区之间存在间隙;
第一N+注入区,所述第一N+注入区设置在P型基区上,所述第一N+注入区外侧被P型基区包裹,所述第一N+注入区的上端露出P型基区,且与P型基区上表面齐平;
第二N+注入区,所述第二N+注入区设置在P型衬底底端,所述第二N+注入区外侧被P型衬底包裹,所述第二N+注入区的下端露出P型衬底,且与P型衬底齐平,所述第二N+注入区的上端沉入P型衬底,所述第一N+注入区和第二N+注入区上下对应;
第一P+注入区,所述第一P+注入区设置在N型基区上,所述第一P+注入区外侧被N型基区包裹,所述第一P+注入区的上端露出N型基区,且与N型基区上表面齐平;
第二P+注入区,所述第二P+注入区设置在P型衬底底端,所述第二P+注入区外侧被P型衬底包裹,所述第二P+注入区的下端露出P型衬底,且与P型衬底齐平,所述第二P+注入区的上端沉入P型衬底,所述第一P+注入区和第二P+注入区上下对应,所述第二P+注入区与第二N+注入区并列设置,且与第二N+注入区之间存在间隙;
第一表面结构,所述第一表面结构设置在所述P型衬底的上表面,用于芯片封装焊接,所述第一表面结构包括第一场氧化层和第一电极金属层,所述第一场氧化层设置在P型衬底的上表面,且覆盖P型基区和N型基区与P型衬底在端面的接触处,所述第一电极金属层覆盖在第一场氧化层、第一N+注入区、第一P+注入区、P型基区和N型基区的上表面;
第二表面结构,所述第二表面结构设置在所述P型衬底的下表面,用于芯片封装焊接,所述第二表面结构包括第二场氧化层和第二电极金属层,所述第二场氧化层,所述第二场氧化层设置在P型衬底的下表面,且覆盖第二N+注入区和第二P+注入区与P型衬底在端面的接触处;所述第二电极金属层, 所述第二电极金属层覆盖在第二场氧化层、第二N+注入区和第二P+注入区的表面。
2.根据权利要求1所述的自隔离非对称垂直型瞬态电压抑制保护器件,其特征在于,所述第一电极金属层将第一N+注入区和第一P+注入区相连接作为第一电极。
3.根据权利要求1所述的自隔离非对称垂直型瞬态电压抑制保护器件,其特征在于,所述第二电极金属层将第二N+注入区和第二P+注入区相连接作为第二电极。
4.根据权利要求1所述的自隔离非对称垂直型瞬态电压抑制保护器件,其特征在于,所述N型基区为可调浓度PNP基区。
5.根据权利要求1所述的自隔离非对称垂直型瞬态电压抑制保护器件,其特征在于,所述P型基区为可调浓度NPN基区。
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H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L27-00 由在一个共用衬底内或其上形成的多个半导体或其他固态组件组成的器件
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H01L27-02 .包括有专门适用于整流、振荡、放大或切换的半导体组件并且至少有一个电位跃变势垒或者表面势垒的;包括至少有一个跃变势垒或者表面势垒的无源集成电路单元的
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H01L27-15 .包括专门适用于光发射并且包括至少有一个电位跃变势垒或者表面势垒的半导体组件
H01L27-16 .包括含有或不含有不同材料结点的热电元件的;包括有热磁组件的