[发明专利]一种自隔离非对称垂直型瞬态电压抑制保护器件有效

专利信息
申请号: 202111325282.9 申请日: 2021-11-10
公开(公告)号: CN113764406B 公开(公告)日: 2022-03-01
发明(设计)人: 朱伟东;赵泊然 申请(专利权)人: 江苏应能微电子有限公司
主分类号: H01L27/02 分类号: H01L27/02
代理公司: 北京中济纬天专利代理有限公司 11429 代理人: 丁燕华
地址: 213002 江苏*** 国省代码: 江苏;32
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摘要:
搜索关键词: 一种 隔离 对称 垂直 瞬态 电压 抑制 保护 器件
【权利要求书】:

1.一种自隔离非对称垂直型瞬态电压抑制保护器件,其特征在于,包括:

P型衬底;

N型基区,所述N型基区设置在P型衬底上端,所述N型基区外侧被P型衬底包裹,且所述N型基区的上端露出P型衬底,且与P型衬底齐平,所述N型基区的下端沉入P型衬底中;

P型基区,所述P型基区设置在P型衬底上端,所述P型基区外侧被P型衬底包裹,且所述P型基区的上端露出P型衬底,且与P型衬底齐平,所述P型基区的下端沉入P型衬底中,所述P型基区和N型基区并列设置,且与N型基区之间存在间隙;

第一N+注入区,所述第一N+注入区设置在P型基区上,所述第一N+注入区外侧被P型基区包裹,所述第一N+注入区的上端露出P型基区,且与P型基区上表面齐平;

第二N+注入区,所述第二N+注入区设置在P型衬底底端,所述第二N+注入区外侧被P型衬底包裹,所述第二N+注入区的下端露出P型衬底,且与P型衬底齐平,所述第二N+注入区的上端沉入P型衬底,所述第一N+注入区和第二N+注入区上下对应;

第一P+注入区,所述第一P+注入区设置在N型基区上,所述第一P+注入区外侧被N型基区包裹,所述第一P+注入区的上端露出N型基区,且与N型基区上表面齐平;

第二P+注入区,所述第二P+注入区设置在P型衬底底端,所述第二P+注入区外侧被P型衬底包裹,所述第二P+注入区的下端露出P型衬底,且与P型衬底齐平,所述第二P+注入区的上端沉入P型衬底,所述第一P+注入区和第二P+注入区上下对应,所述第二P+注入区与第二N+注入区并列设置,且与第二N+注入区之间存在间隙;

第一表面结构,所述第一表面结构设置在所述P型衬底的上表面,用于芯片封装焊接,所述第一表面结构包括第一场氧化层和第一电极金属层,所述第一场氧化层设置在P型衬底的上表面,且覆盖P型基区和N型基区与P型衬底在端面的接触处,所述第一电极金属层覆盖在第一场氧化层、第一N+注入区、第一P+注入区、P型基区和N型基区的上表面;

第二表面结构,所述第二表面结构设置在所述P型衬底的下表面,用于芯片封装焊接,所述第二表面结构包括第二场氧化层和第二电极金属层,所述第二场氧化层,所述第二场氧化层设置在P型衬底的下表面,且覆盖第二N+注入区和第二P+注入区与P型衬底在端面的接触处;所述第二电极金属层, 所述第二电极金属层覆盖在第二场氧化层、第二N+注入区和第二P+注入区的表面。

2.根据权利要求1所述的自隔离非对称垂直型瞬态电压抑制保护器件,其特征在于,所述第一电极金属层将第一N+注入区和第一P+注入区相连接作为第一电极。

3.根据权利要求1所述的自隔离非对称垂直型瞬态电压抑制保护器件,其特征在于,所述第二电极金属层将第二N+注入区和第二P+注入区相连接作为第二电极。

4.根据权利要求1所述的自隔离非对称垂直型瞬态电压抑制保护器件,其特征在于,所述N型基区为可调浓度PNP基区。

5.根据权利要求1所述的自隔离非对称垂直型瞬态电压抑制保护器件,其特征在于,所述P型基区为可调浓度NPN基区。

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