[发明专利]一种抗蚀气相阻锈剂及其制备方法和气相阻锈膜盒

权利要求书

1.一种抗蚀气相阻锈剂，其特征在于，包括如下原料：有机胺、氮唑类衍生物、钼酸盐和醇水混合溶剂，所述氮唑类衍生物的结构式如下式Ⅰ所示：

式Ⅰ：

式Ⅰ中，R₁为C2-C5的主链或者侧链含有氨基的亚脂肪基； R₂、R₃独立地为C2-C7的直链或支链亚烷基；

所述有机胺、氮唑类衍生物、钼酸盐、醇水混合溶剂的重量比为1-2:8-12:2-6:16-24；

所述氮唑类衍生物由含羟基氮唑、有机二元酸发生酯化反应制备而得，所述含羟基氮唑和有机二元酸二者的摩尔比为2.08-2.2:1；

所述有机二元酸的结构式如式Ⅱ，所述含羟基氮唑的结构式如式Ⅲ，

式Ⅱ：，所述R₁为C2-C5的主链或者侧链含有氨基的亚脂肪基；

式Ⅲ：，所述R为C2-C7的直链或支链亚烷基；所述含羟基氮唑包括4-(2-羟基乙基)-1,2,4-三氮唑、4-(2-羟基丙基)-1,2,4-三氮唑中的至少一种；所述有机二元酸选自乙二胺-N,N’-二乙酸、谷氨酸、天冬氨酸中的至少一种。

2.如权利要求1所述的一种抗蚀气相阻锈剂，其特征在于：所述R₁为-(CH₂)_a-CHNH₂-(CH₂)_b-或 -(CH₂)_a-NH-(CH₂)_b-NH-(CH₂)_c-，其中a、b、c独立地选自0-4的整数；所述R₂、R₃独立地为C2-C5的直链。

3.如权利要求1所述的一种抗蚀气相阻锈剂，其特征在于：所述醇水混合溶剂为醇类和水按照体积比为10:3-5的混合溶剂，所述醇类选自乙醇、丙醇、丁醇中的至少一种。

4.一种如权利要求1-3任一项所述抗蚀气相阻锈剂的制备方法，其特征在于，包括如下步骤：室温并搅拌条件下，将钼酸盐溶于醇水混合溶剂中，完全溶解后，加入有机胺、式I所示的氮唑类衍生物，继续搅拌至完全溶解，即得抗蚀气相阻锈剂。

5.一种气相阻锈膜盒，所述阻锈膜盒包括权利要求1-3任一项所述抗蚀气相阻锈剂、覆有改性碳纳米管/聚偏氟乙烯复合膜的膜盒，所述复合膜中含有取向性碳纳米管，所述改性碳纳米管/聚偏氟乙烯的复合膜厚度为300-500μm。

6.如权利要求5所述的气相阻锈膜盒，其特征在于，所述改性碳纳米管为氨基化改性的单壁碳纳米管，所述改性碳纳米管的长度为1-15μm，外径5-15nm，内径3-10nm，-NH₂含量0.5-2wt%。

7.如权利要求6所述的气相阻锈膜盒，其特征在于，所述改性碳纳米管为氨基化改性的单壁碳纳米管，所述改性碳纳米管的长度为1-10μm。