[发明专利]一种提升DUV光源的波段选择性的产生方法

说明书

本发明公开了一种提升DUV光源的波段选择性的产生方法，包括以下步骤:步骤一：将生产DUV的产生装置组装完成；步骤二：通过抽真空组件对石英管内部进行抽真空；步骤三：通过充气组件对石英管内部进行填充气体步骤四：打开高压脉冲电源，在高压电极上形成脉冲电压和强电场；步骤五：强电场将管内的气体分子或原子激发，形成一道高速移动的电离波并向低压端运动；步骤六：电离波在运动的过程中，形成含有大量激发态分子原子和离子的等离子体区域；步骤七：等离子体区域中的激发态分子在退激过程中会形成大量的光辐射，从而形成DUV光源；本发明可以极大的减少试错成本，提升DUV光源的波段选择性。

技术领域

本发明涉及光刻机技术领域，具体涉及一种提升DUV光源的波段选择性的产生方法。

背景技术

光刻机、激光器等均需要使用深紫外(DUV)光源，一种常见的深紫外光源发生装置是毛细管放电器。毛细管放电器主要由一根石英毛细管、深入毛细管两端的电极、高压脉冲电源和真空系统组成。通过将毛细管抽至mbar级真空度并在电极上施加高压脉冲，可以在毛细管中形成纳秒脉冲快速电离波，电离波过程会产生大量的激发态成分，激发态成分在退激过程中会释放出不同波段的辐射，其中即包括DUV波段。目前对DUV辐射产生的控制，主要通过调整气体组成以及电压波形实现。

毛细管快速电离波放电中，可以辐射的成分和波段很多，为了增强DUV波段的辐射选择性，需要对毛细管快速电离波开展控制和优化。传统方式针对毛细管DUV辐射产生的控制，主要通过调整气体组成以及电压波形实现，但是这两种方法均需要采用大量的实验和试错，实现起来极为困难。

发明内容

本发明的目的在于提供一种提升DUV光源的波段选择性的产生方法，实现从辐射源头激发态成分出发逆向推导出电场/电压波形，可以极大的减少试错成本，提升DUV光源的波段选择性。

本发明的目的可以通过以下技术方案实现：

一种提升DUV光源的波段选择性的产生方法，包括以下步骤:

步骤一：通过抽真空组件对石英管内部进行抽真空,充气组件对抽真空后的石英管内部进行填充气体；

步骤二：打开高压脉冲电源，在高压电极上形成脉冲电压和强电场，强电场将石英管内的气体分子或原子激发；

步骤三：气体分子或原子激发形成一道高速移动的电离波并向低压电极端运动形成等离子体区域；

步骤四：等离子体区域中的激发态分子在退激过程中会形成大量的光辐射，从而形成DUV光源。

作为本发明进一步的方案：所述产生装置包括石英管，石英管两端分别设置有高压电极和低压电极，石英管上连接有抽真空组件和充气组件。

作为本发明进一步的方案：所述抽真空组件包括真空泵，真空泵通过出气总管与石英管的出气口相连通。

作为本发明进一步的方案：所述出气总管上设置有控制管路通断的气阀。

作为本发明进一步的方案：所述充气组件包括第一气罐和第二气罐，第一气罐和第二气罐均通过进气总管与石英管的进气口相连通。

作为本发明进一步的方案：所述石英管外侧设置有连接同轴电缆的外层屏蔽网的外屏蔽层。

作为本发明进一步的方案：所述外屏蔽层内侧均匀分布有用于温度调控的电热管。

作为本发明进一步的方案：所述高压电极和低压电极结构相同。

作为本发明进一步的方案：所述低压电极包括电极座，电极座一端设置有与石英管相连的铜芯，电极座另一端设置有安装孔。

作为本发明进一步的方案：所述安装孔上设置有用于锁紧与电源连接接头的锁紧组件。

本发明的有益效果：