[发明专利]一种基于背接触的叠层电池及其制备方法在审
申请号: | 202111335788.8 | 申请日: | 2021-11-12 |
公开(公告)号: | CN113782566A | 公开(公告)日: | 2021-12-10 |
发明(设计)人: | 王飞;王伟;吴仕梁;张凤鸣 | 申请(专利权)人: | 南京日托光伏新能源有限公司 |
主分类号: | H01L27/30 | 分类号: | H01L27/30;H01L31/0224;H01L31/0747;H01L51/42;H01L51/44 |
代理公司: | 江苏圣典律师事务所 32237 | 代理人: | 陶得天 |
地址: | 214000 江苏省南京市*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 基于 接触 电池 及其 制备 方法 | ||
1.一种基于背接触的叠层电池,其特征在于,所述叠层电池依次包括叠置的HJT底电池和钙钛矿顶电池;
所述HJT底电池自上而下依次包括N+型掺杂非晶硅层(8)、第一本征非晶硅钝化层(9)、N型单晶硅衬底(10)、第二本征非晶硅钝化层(11)、P型掺杂非晶硅层(12)、背面TCO层(13)以及背面栅线电极(14);
所述钙钛矿顶电池自上而下依次包括正面栅线电极(1)以及正面TCO层(2)、顶电极缓冲层(3)、电子传输层(4)、钙钛矿吸光层(5)、空穴传输层(6)、隧穿层(7);所述钙钛矿顶电池通过隧穿层(7)与HJT底电池连接;
所述叠层电池还开设有依次贯穿钙钛矿顶电池、隧穿层(7)以及HJT底电池的贯穿孔,所述贯穿孔中设有孔内电极(16),并且贯穿孔的内壁与孔内电极(16)之间设有孔内绝缘胶(15)。
2.根据权利要求1所述的一种基于背接触的叠层电池,其特征在于,所述隧穿层(7)为透明导电膜、微晶-非晶薄膜或由SnO2材料制成。
3.一种权利要求1所述的基于背接触的叠层电池的制备方法,其特征在于,按以下步骤进行制备:
S01、硅片清洗抛光:对N型单晶硅基底进行制绒和清洗,去除硅基底表面的机械损伤层和污染物,形成金字塔绒面;
S02、双面沉积本征非晶硅层;
S03、正面进行N+型掺杂非晶硅层(8)的沉积;
S04、背面进行P型掺杂非晶硅层(12)的沉积;
S05、在镀有P型掺杂非晶硅层(12)所在表面进行背面TCO层(13)的沉积;
S06、在镀有N+型掺杂非晶硅层(8)所在表面制备隧穿层(7);
S07、在隧穿层(7)上制备空穴传输层(6);
S08、在空穴传输层(6)上制备钙钛矿吸光层(5);
S09、在钙钛矿吸光层(5)上制备电子传输层(4);
S10、在电子传输层(4)上制备顶电极缓冲层(3);
S11、在顶电极缓冲层(3)上制备正面TCO层(2),得到叠层半成品电池;
S12、对所得叠层半成品电池进行激光打孔;
S13、孔内绝缘处理:通过印刷绝缘胶,将孔内壁及开孔外沿涂上绝缘胶;
S14、丝网印刷堵孔浆料:将堵孔浆料从背面印刷入内壁固化有绝缘胶的孔中;
S15、在背面TCO层(13)上制备背面栅线电极(14);
S16、在正面TCO层(2)上制备正面栅线电极(1);完毕。
4.根据权利要求3所述的一种基于背接触的叠层电池的制备方法,其特征在于,步骤S06中制备的隧穿层(7)为透明导电膜ITO。
5.根据权利要求3所述的一种基于背接触的叠层电池的制备方法,其特征在于,步骤S06中制备的隧穿层(7)是用微晶-非晶薄膜反向重掺所做的隧穿结层。
6.根据权利要求3所述的一种基于背接触的叠层电池的制备方法,其特征在于,步骤S06中制备的隧穿层(7)由SnO2材料制成。
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H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L27-00 由在一个共用衬底内或其上形成的多个半导体或其他固态组件组成的器件
H01L27-01 .只包括有在一公共绝缘衬底上形成的无源薄膜或厚膜元件的器件
H01L27-02 .包括有专门适用于整流、振荡、放大或切换的半导体组件并且至少有一个电位跃变势垒或者表面势垒的;包括至少有一个跃变势垒或者表面势垒的无源集成电路单元的
H01L27-14 . 包括有对红外辐射、光、较短波长的电磁辐射或者微粒子辐射并且专门适用于把这样的辐射能转换为电能的,或适用于通过这样的辐射控制电能的半导体组件的
H01L27-15 .包括专门适用于光发射并且包括至少有一个电位跃变势垒或者表面势垒的半导体组件
H01L27-16 .包括含有或不含有不同材料结点的热电元件的;包括有热磁组件的