[发明专利]一种降低粗糙度的超精研磨机及其研磨工艺

权利要求书

1.一种降低粗糙度的超精研磨机，包括底板(1)、旋转机构、夹持组件、行星研磨机构、联动机构，其特征在于：所述底板(1)的顶面中部设有载物箱(2)，所述底板(1)通过旋转机构与载物箱(2)连接，且所述载物箱(2)内设有夹持组件；所述底板(1)的顶面左侧设有侧板(3)，所述侧板(3)的顶部设有横板(31)，所述横板(31)的下方设有研磨箱(4)，所述研磨箱(4)内设有行星研磨机构，所述研磨箱(4)通过联动机构与底板(1)连接。

2.根据权利要求1所述的一种降低粗糙度的超精研磨机，其特征在于：所述旋转机构包括旋转环(12)、伺服电机(14)，所述底板(1)的顶面中部设有圆形盘(11)，所述圆形盘(11)的外侧面套设有轴承环，所述载物箱(2)的底面设有旋转环(12)，所述旋转环(12)同心套设在轴承环的外侧上，所述旋转环(12)的外侧面套设有外齿轮环(13)，所述底板(1)的顶面右侧开设有电机槽，所述电机槽内安装有伺服电机(14)，所述伺服电机(14)的电机轴端部设有主动齿轮(15)，且所述主动齿轮(15)与外齿轮环(13)的右侧边啮合连接。

3.根据权利要求1所述的一种降低粗糙度的超精研磨机，其特征在于：所述夹持组件包括微型电推缸(22)、夹持杆(25)，所述载物箱(2)内中部设有网格盘(21)，位于网格盘(21)的上方在载物箱(2)的内壁上设有若干微型电推缸(22)，每个所述微型电推缸(22)的电推杆端部均设有H形耳座(23)，每座所述H形耳座(23)的两端均设有连杆(24)；位于微型电推缸(22)的两侧在载物箱(2)的内壁上均设有一对夹持杆(25)，每根所述连杆(24)的外端均与对应的夹持杆(25)的中部活动铰接，且每根所述夹持杆(25)的外端均设有橡胶夹块(26)。

4.根据权利要求1所述的一种降低粗糙度的超精研磨机，其特征在于：位于研磨箱(4)的顶面上方在横板(31)的顶面开设有多个固定孔，每个所述固定孔内均安装有伸缩缸(32)，每个所述伸缩缸(32)的伸缩杆端部均与研磨箱(4)的顶面固接，位于多个固定孔外侧在横板(31)的顶面开设有若干滑孔，每个所述滑孔内均插设有T形杆(33)，每根所述T形杆(33)的底端均与研磨箱(4)的顶面固接，每根所述T形杆(33)的顶段上均套设有张力弹簧(34)。

5.根据权利要求2所述的一种降低粗糙度的超精研磨机，其特征在于：所述行星研磨机构包括行星主齿轮(42)、行星副齿轮(45)，所述研磨箱(4)内顶壁中部设有固定轴承，所述固定轴承内插设有行星主轴(41)，所述行星主轴(41)的底端设有限位盘(43)，位于研磨箱(4)内在行星主轴(41)的中部套设有行星主齿轮(42)；所述研磨箱(4)的内壁上套设有内齿轮环(44)，所述内齿轮环(44)与行星主齿轮(42)之间设有若干行星副齿轮(45)，每个所述行星副齿轮(45)的底面均设有行星副轴(46)，每根所述行星副轴(46)的底端均延伸至研磨箱(4)的底面下方，每根所述行星副轴(46)的底端均设有法兰盘(47)。

6.根据权利要求5所述的一种降低粗糙度的超精研磨机，其特征在于：所述法兰盘(47)的底面设有研磨盘(48)，所述法兰盘(47)与研磨盘(48)之间设有橡胶密封盘，所述法兰盘(47)的顶面外侧均布设有若干螺栓，每根所述螺栓的底端均与研磨盘(48)螺纹连接，所述研磨盘(48)的底面设有若干研磨球(49)。

7.根据权利要求5所述的一种降低粗糙度的超精研磨机，其特征在于：所述联动机构包括联动轴(54)、驱动皮带(58)，所述研磨箱(4)的顶面一侧设有联动轴承座(53)，所述联动轴承座(53)内设有联动轴承，所述联动轴承内插设有联动轴(54)，所述联动轴(54)的顶端套设有第一皮带轮(56)，所述行星主轴(41)的顶端套设有第二皮带轮(57)，所述第一皮带轮(56)与第二皮带轮(57)之间设有驱动皮带(58)，所述驱动皮带(58)的两端分别套设在第一皮带轮(56)、第二皮带轮(57)。