[发明专利]一种提高多晶硅还原炉能效的高纯石英质硅芯

权利要求书

1.一种提高多晶硅还原炉能效的高纯石英质硅芯，其特征在于，所述高纯石英质硅芯为空心硅芯，所述高纯石英质空心硅芯替代原多晶硅还原炉内的实心硅芯，所述高纯石英质硅芯以纯度为99.99%以上的高纯度结晶石英为原料，使用胶体处理方法制得。

2.根据权利要求1所述的提高多晶硅还原炉能效的高纯石英质硅芯，其特征在于：具体制备步骤如下：

将未加工的纯度在99.99%以上的高纯度结晶石英研磨至颗粒粒径为50 nm~300 μm，然后再将研磨后的石英颗粒分散到胶体溶液中；

再将分散到胶体溶液后的石英颗粒模制成硅芯型材，然后经干燥、烧结和退火处理；

将处理好的硅芯型材进行机械加工或结构修改，从而得到高纯石英质硅芯。

3.根据权利要求1所述的提高多晶硅还原炉能效的高纯石英质硅芯，其特征在于：所述空心硅芯为管状结构。

4.根据权利要求3所述的提高多晶硅还原炉能效的高纯石英质硅芯，其特征在于：管状硅芯半径为10 mm、20 mm、30 mm、40 mm或50 mm，管状硅芯沉积厚度为10 mm、20 mm、30 mm、40 mm或50 mm。

5.根据权利要求1所述的提高多晶硅还原炉能效的高纯石英质硅芯，其特征在于：所述空心硅芯为方状、十字架状或四角星状结构。