[发明专利]考夫曼离子源装置及其控制方法

权利要求书

1.考夫曼离子源装置，其特征在于，包括：

放电室；

电源连接组件，包括设于所述放电室外的灯丝电源，以及与所述灯丝电源连接的两个电源触点结构，两个所述电源触点结构分别设于所述放电室相对的两侧壁，且两个所述电源触点结构均伸入所述放电室内；

两个灯丝固定组件，两个所述灯丝固定组件均包括设于所述放电室内的固定底座，与所述固定底座连接的固定仓，与所述固定仓移动配合的移动仓，以及设于所述移动仓的至少两个灯丝触点端子；

平移驱动组件，与两个所述移动仓均连接；以及

至少两个阴极灯丝，分别对应连接在两个所述移动仓的所述灯丝触点端子之间；

其中，所述电源触点结构与所述灯丝固定组件的位置相对应，在所述平移驱动组件的作用下，所述平移驱动组件能够带动两个所述移动仓及全部所述阴极灯丝平移，使得其中之一所述阴极灯丝所对应的两个所述灯丝触点端子分别与两个所述电源触点结构配合接触。

2.如权利要求1所述的考夫曼离子源装置，其特征在于，两个所述电源触点结构均包括：

导电连接杆，一端与所述灯丝电源连接，另一端贯穿于所述放电室侧壁；以及

两个导电卡簧片，分别设于所述导电连接杆另一端相对的两侧，两个所述导电卡簧片共同形成用以夹持所述灯丝触点端子的夹持空间。

3.如权利要求2所述的考夫曼离子源装置，其特征在于，两个所述导电卡簧片均包括：

折弯安装部，与所述导电连接杆连接；以及

弧形夹持部，与所述折弯安装部连接，两个所述导电卡簧片的所述弧形夹持部的弧形凸出面相对设置且形成所述夹持空间。

4.如权利要求2所述的考夫曼离子源装置，其特征在于，两个所述电源触点结构还均包括套设于所述导电连接杆的绝缘套，所述绝缘套贯穿于所述放电室侧壁。

5.如权利要求1所述的考夫曼离子源装置，其特征在于，两个所述移动仓均开设有与所述灯丝触点端子相同数量的贯通孔，所述灯丝触点端子贯穿于所述贯通孔中。

6.如权利要求1所述的考夫曼离子源装置，其特征在于，两个所述移动仓均开设有与所述灯丝触点端子相同数量的顶紧孔，所述顶紧孔中配合有顶紧所述灯丝触点端子的顶丝。

7.如权利要求1所述的考夫曼离子源装置，其特征在于，每个所述灯丝触点端子与所述阴极灯丝连接的端面均开设有供所述阴极灯丝插入的插入孔。

8.如权利要求1、5、6、7任一项所述的考夫曼离子源装置，其特征在于，所述固定仓为具有开口的空腔结构，所述灯丝固定组件还包括盖设于所述固定仓开口的盖板。

9.如权利要求1所述的考夫曼离子源装置，其特征在于，所述平移驱动组件包括：

两个传动杆，分别与两个所述移动仓连接；

两个气缸，分别与两个所述传动杆连接；

两个进气管路，分别与两个所述气缸连通，且两个所述进气管路远离所述气缸的一端合并为一支通断管路，所述通断管路用以与空气源连通；以及

电磁阀，设于所述通断管路。

10.如权利要求1至9任一项所述的考夫曼离子源装置的控制方法，其特征在于，包括：

控制平移驱动组件带动移动仓移动，直至其中之一阴极灯丝所对应的灯丝触点端子与电源触点结构接触，以使其中之一阴极灯丝位于加电工位，其余阴极灯丝位于非加电工位；

打开灯丝电源，向放电室通入工艺气体，使放电室内产生等离子体，使得考夫曼离子源装置处于正常工作状态；

判断位于加电工位的阴极灯丝是否正常工作，当位于加电工位的阴极灯丝无法正常工作时，再次控制平移驱动组件带动移动仓移动，直至其中之另一阴极灯丝所对应的灯丝触点端子与电源触点结构接触，以使其中之另一阴极灯丝位于加电工位，其余阴极灯丝位于非加电工位，使得考夫曼离子源装置再次处于正常工作状态。