[发明专利]基于VCSEL的发光装置及其制备方法在审
申请号: | 202111344329.6 | 申请日: | 2021-11-12 |
公开(公告)号: | CN114142334A | 公开(公告)日: | 2022-03-04 |
发明(设计)人: | 江柳杨 | 申请(专利权)人: | 江西省晶能半导体有限公司 |
主分类号: | H01S5/0225 | 分类号: | H01S5/0225;H01S5/183;H01S5/00 |
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地址: | 330096 江西省*** | 国省代码: | 江西;36 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 基于 vcsel 发光 装置 及其 制备 方法 | ||
本发明提供了一种基于VCSEL的发光装置及其制备方法,其中,制备方法中包括:使用混合好的胶水涂覆于预先配置的扩散板模板表面并烘烤成型,得到具备一定粘性处于半固化状态的扩散板,扩散板模型底部包括扩散图形;将半固化状态的扩散板与扩散板模板分离并放置于支撑膜表面,且扩散图形一侧朝下与支撑膜接触;将VCSEL芯片置于扩散板表面,且芯片的发光侧表面对应扩散板上的扩散图形放置;完全固化扩散板;对VCSEL芯片之间的扩散板进行切割,得到单颗带有扩散板的发光装置。有效解决现有发光装置工艺复杂、成本高、难度大等问题。
技术领域
本发明涉及半导体技术领域,尤其是一种基于VCSEL的发光装置及其制备方法。
背景技术
VCSEL(Vertical-cavity Surface-emitting Laser,垂直腔面发射激光器)最初用于光通信领域,如应用于光模块等;之后逐步应用于消费电子领域的3D感测方面,如人脸识别等。2017年某手机品牌厂商将其用在人脸识别模组,自此开始受到消费电子领域的大规模关注,开始进入手机、智能门锁、扫地机器人、无人驾驶、AR/VR等领域市场。
目前,在对产品进行封装中,一般需要在VCSEL芯片表面进一步配置扩散板(diffuser),保证封装产品发出面型投射光的同时增加可探测空间范围。工艺流程一般为:VCSEL芯片和扩散板独立制备完成后,封装中先将VCSEL芯片固定在支架内部,之后将扩散板固定于支架表面得到封装产品。存下的问题主要体现在:一方面,工艺相对复杂,尤其是扩散板的制备工艺复杂、成本高;另一方面,将扩散板贴于支架上时不易控制,难度较大。
发明内容
为了克服以上不足,本发明提供了一种基于VCSEL的发光装置及其制备方法,有效解决现有发光装置工艺复杂、成本高、难度大等问题。
本发明提供的技术方案为:
一方面,本发明提供了一种基于VCSEL的发光装置的制备方法,包括:
使用混合好的胶水涂覆于预先配置的扩散板模板表面并烘烤成型,得到具备一定粘性处于半固化状态的扩散板,所述扩散板模型底部包括扩散图形;
将半固化状态的扩散板与扩散板模板分离并放置于支撑膜表面,且扩散图形一侧朝下与支撑膜接触;
将VCSEL芯片置于所述扩散板表面,且芯片的发光侧表面对应扩散板上的扩散图形放置;
完全固化所述扩散板;
对VCSEL芯片之间的扩散板进行切割,得到单颗带有扩散板的发光装置。
另一方面,本发明提供了一种基于VCSEL的发光装置,所述发光装置采用上述制备方法制备而成,所述发光装置中包括VCSEL芯片及固化于所述VCSEL芯片发光侧表面的扩散板。
本发明提供的基于VCSEL的发光装置及其制备方法,在芯片端直接将扩散板与VCSEL芯片结合,便于对扩散板的封装,大大节约了制造及封装成本,节约了流程。
附图说明
图1为本发明中发光装置结构示意图。
具体实施方式
为了更清楚地说明本发明实施案例或现有技术中的技术方案,下面将对照附图说明本发明的具体实施方式。显而易见地,下面描述中的附图仅仅是本发明的一些实施例,对于本领域普通技术人员来讲,在不付出创造性劳动的前提下,还可以根据这些附图获得其他的附图,并获得其他的实施方式。
本发明的一种实施例,一种基于VCSEL的发光装置的制备方法,包括:
S10使用混合好的胶水涂覆于预先配置的扩散板模板表面并烘烤成型,得到具备一定粘性处于半固化状态的扩散板,扩散板模型底部包括扩散图形;
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