[发明专利]微流体浓度传感芯片及微流体特性测量装置

权利要求书

1.一种微流液体特性测量装置，其特征在于，包括测量主体(300)和微流液体浓度传感芯片(100)，所述测量主体(300)设置有流体通道(310)，所述流体通道(310)的通道壁设置有测量腔室(320)，所述测量腔室(320)与所述流体通道(310)连通；所述微流液体浓度传感芯片(100)包括基体(110)，所述基体(110)设置有微加热器(120)和至少两个传感元件，各所述传感元件与所述微加热器(120)之间的距离不同，所述传感元件用于测量流体的热扩散率；所述微流液体浓度传感芯片(100)设置于所述通道壁，且所述微流液体浓度传感芯片(100)的感测表面位于所述测量腔室(320)内，用于测量流入所述测量腔室(320)内的流体的热扩散率，所述热扩散率与待测流体的浓度单调相关。

2.根据权利要求1所述的微流液体特性测量装置，其特征在于，所述传感元件包括第一传感元件(130)、第二传感元件(140)和第三传感元件(150)，且沿流体的流向，所述微加热器(120)、所述第一传感元件(130)、所述第二传感元件(140)和所述第三传感元件(150)依次设置。

3.根据权利要求1所述的微流液体特性测量装置，其特征在于，所述传感元件包括第一传感元件(130)、第二传感元件(140)以及第四传感元件(170)和第五传感元件(180)，且沿流体的流向，所述微加热器(120)、所述第一传感元件(130)和所述第二传感元件(140)依次设置，所述第四传感元件(170)与所述第一传感元件(130)关于所述微加热器(120)对称设置，所述第五传感元件(180)与所述第二传感元件(140)关于所述微加热器(120)对称设置。

4.根据权利要求1-3任一项所述的微流液体特性测量装置，其特征在于，所述基体(110)还设置有温度测量元件(160)，所述温度测量元件(160)用于测量待测流体的温度。

5.根据权利要求1所述的微流液体特性测量装置，其特征在于，所述微流液体浓度传感芯片(100)的感测表面与所述通道壁的内表面之间的距离大于等于1mm且小于等于5mm。

6.根据权利要求1所述的微流液体特性测量装置，其特征在于，所述测量腔室(320)位于所述流体通道(310)的顶部。

7.根据权利要求1、5和6任一项所述的微流液体特性测量装置，其特征在于，所述通道壁还设置有第一容纳腔室(330)，所述第一容纳腔室(330)位于所述测量腔室(320)的外侧且与所述测量腔室(320)连通，所述微流液体浓度传感芯片(100)设置于所述第一容纳腔室(330)内。

8.根据权利要求7所述的微流液体特性测量装置，其特征在于，所述通道壁还设置有第二容纳腔室(360)，所述第二容纳腔室(360)与所述流体通道(310)连通；所述微流液体特性测量装置还包括微流液体流量传感芯片(200)，所述微流液体流量传感芯片(200)与所述微流液体浓度传感芯片(100)结构相同，所述微流液体流量传感芯片(200)设置于所述第二容纳腔室(360)内，且所述微流液体流量传感芯片(200)的感测表面伸入所述流体通道(310)内，用于测量流过所述流体通道(310)的流体的流量。

9.根据权利要求8所述的微流液体特性测量装置，其特征在于，沿流体的流向，所述第二容纳腔室(360)位于所述第一容纳腔室(330)的上游。

10.根据权利要求1、5和6任一项所述的微流液体特性测量装置，其特征在于，所述测量主体(300)的进液端(340)和出液端(350)均设置有微流控接头。