[发明专利]自动光学检测方法、自动光学检测系统及记录媒体在审

专利信息
申请号: 202111345573.4 申请日: 2021-11-15
公开(公告)号: CN114972152A 公开(公告)日: 2022-08-30
发明(设计)人: 古承伟;王上棋;李佳烨 申请(专利权)人: 环球晶圆股份有限公司
主分类号: G06T7/00 分类号: G06T7/00;G06T7/12;G06T7/13;G06V10/764;G06V10/774
代理公司: 北京同立钧成知识产权代理有限公司 11205 代理人: 宋兴;刘芳
地址: 中国台湾新竹市*** 国省代码: 台湾;71
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摘要:
搜索关键词: 自动 光学 检测 方法 系统 记录 媒体
【权利要求书】:

1.一种自动光学检测方法,适用于包括光学镜头及处理器的光学检测系统,包括:

经由所述光学镜头获取待测物的原始图像,其中所述原始图像包括多个第一图像;

对所述原始图像执行边缘检测,以获得具有边缘图案的边缘图像,其中所述边缘图像包括具有边缘图案的多个第二图像;

计算所述多个第二图像中像素值的最大值、最小值及平均值至少其中之一;

根据单位面积分割所述边缘图像为多个图像区块,并根据所述多个图像区块中包括的所述多个第二图像对应的所述最大值、所述最小值及所述平均值至少其中之一计算多个特征值;以及

根据所述多个特征值与待测物数据训练对应待测物缺陷的回归模型以获得最佳回归模型。

2.根据权利要求1所述的自动光学检测方法,其中所述多个特征值包括标准差、变异系数、平均数、全距、平均绝对偏差至少其中之一。

3.根据权利要求1所述的自动光学检测方法,其中所述待测物数据包括预期输出,并且根据所述多个特征值与所述待测物数据训练对应待测物缺陷的所述回归模型以获得所述最佳回归模型的步骤包括:

将所述多个特征值及所述预期输出作为输入数据输入至所述回归模型以训练所述回归模型,并产生对应所述多个特征值的多个权重。

4.根据权利要求3所述的自动光学检测方法,还包括:

基于经训练的所述回归模型根据所述多个权重对所述多个特征值进行分类以产生对应所述多个特征值的分类结果;以及

将所述分类结果与所述预期输出进行比对以判断所述分类结果是否符合预期。

5.根据权利要求4所述的自动光学检测方法,还包括:

若所述分类结果符合预期,则设定所述经训练的所述回归模型为所述最佳回归模型,并且

若所述分类结果不符合预期,则重新选择用于训练所述回归模型的多个特征值,并重新训练所述回归模型。

6.根据权利要求1所述的自动光学检测方法,还包括:

基于所述最佳回归模型对第三图像进行分类,以产生对应所述第三图像的分类结果。

7.一种自动光学检测系统,包括:

光学镜头,经配置以获取待测物的原始图像,其中所述原始图像包括多个第一图像;以及

处理器,耦接所述光学镜头,经配置以:

对所述原始图像执行边缘检测,以获得具有边缘图案的边缘图像,其中所述边缘图像包括具有边缘图案的多个第二图像;

计算所述多个第二图像中像素值的最大值、最小值及平均值至少其中之一;

根据单位面积分割所述边缘图像为多个图像区块,并根据所述多个图像区块中包括的所述多个第二图像对应的所述最大值、所述最小值及所述平均值至少其中之一计算多个特征值;以及

根据所述多个特征值与待测物数据训练对应待测物缺陷的回归模型以获得最佳回归模型。

8.根据权利要求7所述的自动光学检测系统,其中所述多个特征值包括标准差、变异系数、平均数、全距、平均绝对偏差至少其中之一。

9.根据权利要求7所述的自动光学检测系统,其中所述待测物数据包括预期输出,并且所述处理器经配置以:

将所述多个特征值及所述预期输出作为输入数据输入至所述回归模型以训练所述回归模型,并产生对应所述多个特征值的多个权重。

10.根据权利要求9所述的自动光学检测系统,其中所述处理器更经配置以:

基于经训练的所述回归模型根据所述多个权重对所述多个特征值进行分类以产生对应所述多个特征值的分类结果;以及

将所述分类结果与所述预期输出进行比对以判断所述分类结果是否符合预期。

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