[发明专利]一种用于介观尺度试样力学性能测试的磁控溅射设备

权利要求书

1.一种用于介观尺度试样力学性能测试的磁控溅射设备，其设有反应腔室（9）、翻转驱动装置（10），所述反应腔室（9）内的底部设置有靶材（15），位于所述靶材（15）的上方设置有承载夹持装置（16），用以承载夹持被测试样，所述承载夹持装置（16）设置在所述反应腔室（9）内，其特征在于，所述翻转驱动装置（10）与传动轴的一端相连接，所述传动轴的另一端与所述承载夹持装置（16）相连接；当所述被测试样的一面完成磁控溅射后，所述翻转驱动装置（10）通过驱动所述传动轴带动所述承载夹持装置（16）转动，使所述被测试样的另一面朝向所述靶材（15），实现所述靶材（15）对所述被测试样的另一面的磁控溅射；

所述承载夹持装置（16）设有可拆卸连接的试样溅射盘（29）和溅射盘卡盒（30）；

所述试样溅射盘（29）设有中空框体（1）、试样定位框（5）、一对金属镀膜成形板（2）和一对压板（3）；所述试样定位框（5）开设有用于放置所述被测试样的放置通孔（51），所述放置通孔（51）与所述被测试样的形状、大小相匹配；所述试样定位框（5）容置于所述中空框体（1）内，所述试样定位框（5）设置在一对所述金属镀膜成形板（2）之间，所述金属镀膜成形板（2）开设有呈阵列分布的第一通孔（21），所述第一通孔（21）为圆形孔，所述第一通孔（21）的孔径为微米级；一对所述金属镀膜成形板（2）设置在一对所述压板（3）之间，一对所述压板（3）可拆卸的安装在所述中空框体（1）的上下两侧；位于上下两侧的所述压板（3）的板身分别压在位于其临近的所述金属镀膜成形板（2）上，使一对所述金属镀膜成形板（2）分别紧压在所述被测试样的测试部（41）的上下表面；所述压板（3）开设有第二通孔（31），所述第二通孔（31）的大小大于所述第一通孔（21）的孔径；紧贴在所述被测试样的测试部（41）上的所述第一通孔（21）与所述第二通孔（31）相连通；

所述溅射盘卡盒（30）的左侧开设有卡盒开口（34），所述溅射盘卡盒（30）的右侧与所述传动轴相连接，所述溅射盘卡盒（30）的上下两侧分别开设有第四通孔（35），所述第四通孔（35）的大小不小于所述第二通孔（31）；所述溅射盘卡盒（30）内开设有容纳腔（36），所述卡盒开口（34）与所述容纳腔（36）相连通，所述试样溅射盘（29）从所述卡盒开口（34）适配插入到所述容纳腔（36）内，此时所述第二通孔（31）与所述第四通孔（35）相连通。

2.根据权利要求1所述的一种用于介观尺度试样力学性能测试的磁控溅射设备，其特征在于，所述反应腔室（9）的顶部敞口，密封盖板（17）将所述反应腔室（9）的顶部密封，所述反应腔室（9）与所述密封盖板（17）可拆卸连接。

3.根据权利要求2所述的一种用于介观尺度试样力学性能测试的磁控溅射设备，其特征在于，所述密封盖板（17）上安装设有自转驱动装置（18），所述自转驱动装置（18）的动力输出轴向下穿过所述密封盖板（17）与构件承载转盘（19）相连接，所述构件承载转盘（19）设置在所述反应腔室（9）内，在所述自转驱动装置（18）的动力输出下，所述构件承载转盘（19）绕其中心自转；所述翻转驱动装置（10）安装在所述构件承载转盘（19）上，设置所述翻转驱动装置（10）、所述传动轴、所述承载夹持装置（16）为一组磁控溅射单元，所述磁控溅射单元的数量为多组，所述磁控溅射单元绕所述构件承载转盘（19）的中心呈环形阵列式分布。