[发明专利]一种磁控管阴极用高强度支杆组件的制造方法

权利要求书

1.一种磁控管阴极用高强度支杆组件的制造方法，其特征是，包括如下步骤：

制作钼粉混合物：称取质量百分比为70～80wt％的钼粉和质量百分比为20～30wt％的有机溶剂充分搅拌至均匀，得到具有松装密度和流动性的适用于金属粉末压制成型工艺要求的钼粉混合物；

制作端帽：将钼粉混合物通过模具压制成上端帽坯、下端帽坯，再放入真空脱脂炉中预烧，且在500～900℃中脱去成型剂，再放入高温烧结炉进行致密化烧结，其烧结温度为1600～1800℃，烧结6～8小时后冷却出炉，即到上端帽、下端帽，其中，在所述上端帽的外表面成型有用于与钼支杆进行焊接的非平整结构，在所述下端帽的下端成型有至少一凹槽，所述非平整结构和凹槽都能减少与对应钼支杆的接触面积和提高焊接时的电阻；

制作钼支杆：切割出所需长度的钼支杆，将钼支杆、磨球料放入研磨机内，再加入研磨液和水进行研磨，研磨时间为20～40h，转速为20～50rpm/min，得到外表面具有粗糙度的钼支杆，其中，支杆与磨球料的重量比(5～9)：(10～15)；

制作组件：将一上端帽和一钼支杆、一下端帽和一钼支杆对应固定在焊接机的两极之间进行焊接，焊接强度都为30～45kg/cm2，其中，一钼支杆与设置有非平整结构的上端帽的一端进行焊接，所述下端帽的凹槽外围处与一钼支杆进行焊接，即得到上钼支杆组件、下钼支杆组件。

2.如权利要求1所述的磁控管阴极用高强度支杆组件的制造方法，其特征是：所述钼粉的粒径为9～10微米，所述钼粉混合物的松装密度为1.4～1.6g/cm3、流动性为35-50s，所述有机溶剂由PVB、石蜡、酒精构成，其中，PVA、石蜡、酒精之间的重量比为(1～3)：(3～6)：(100～250)。

3.如权利要求2所述的磁控管阴极用高强度支杆组件的制造方法，其特征是：所述研磨液为二氧化硅研磨液或金刚石研磨液。

4.如权利要求1或2所述的磁控管阴极用高强度支杆组件的制造方法，其特征是：所述非平整结构为规则设置的多个环形槽或多个凹孔或多个凸起部。

5.如权利要求1所述的磁控管阴极用高强度支杆组件的制造方法，其特征是：所述凹槽为径向设置的环形凹槽。

6.如权利要求1所述的磁控管阴极用高强度支杆组件的制造方法，其特征是：所述凹槽为多个径向规则分布且相互不连通。