[发明专利]表贴石英音叉陀螺及其加工方法有效
申请号: | 202111352167.0 | 申请日: | 2021-11-16 |
公开(公告)号: | CN113790715B | 公开(公告)日: | 2022-03-15 |
发明(设计)人: | 褚伟航;裴志强;张琳琳;廖兴才 | 申请(专利权)人: | 北京晨晶电子有限公司 |
主分类号: | G01C19/5628 | 分类号: | G01C19/5628 |
代理公司: | 北京路浩知识产权代理有限公司 11002 | 代理人: | 李梦晨 |
地址: | 100020*** | 国省代码: | 北京;11 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 石英 音叉 陀螺 及其 加工 方法 | ||
1.一种表贴石英音叉陀螺,其特征在于,包括:
石英音叉和基座;所述石英音叉包括:
主体部,包括耦合梁、驱动叉指和检测叉指,所述驱动叉指和所述检测叉指分别设置在所述耦合梁相对的两侧,所述驱动叉指上设置有驱动电极,所述检测叉指上设置有检测电极;所述耦合梁为工字型结构或内部中空的框体结构;
连接梁,至少为两个且数量为偶数,所述连接梁对称设置于所述耦合梁的两侧;各个所述连接梁的一端与所述耦合梁连接,另一端设置有基部锚点;所述连接梁的厚度小于所述基部锚点的厚度、或所述连接梁的宽度小于所述基部锚点的宽度;信号引出在所述连接梁上设置走线,在所述基部锚点处 通过导电银胶层或基座PID点电连接;所述连接梁的位置关于表贴石英音叉陀螺的中心对称;
基座,所述基座与所述基部锚点一一对应,并且通过导电银胶层粘接固定或者共晶焊接固定。
2.根据权利要求1所述的表贴石英音叉陀螺,其特征在于,所述驱动叉指的长度为d1,所述检测叉指的长度为d2,且d1<d2 ≤2d2。
3.根据权利要求1所述的表贴石英音叉陀螺,其特征在于,所述石英音叉和所述基部锚点为一体成型的石英晶体结构。
4.根据权利要求1-3任一项所述的表贴石英音叉陀螺,其特征在于,所述导电银胶层的厚度为10-20μm。
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