[发明专利]一种钨镍合金溅射靶材及其热压制备方法

权利要求书

1.一种钨镍合金溅射靶材的热压制备方法，其特征在于，所述热压制备方法包括如下步骤：

（1）准备Ni粉质量占比为44.1~49.5%的钨镍合金粉，装入模具并封口；

其中，所述钨镍合金粉利用W粉和Ni粉按照Ni粉质量占比为44.1~49.5%混合得到；所述W粉的纯度为99.95~99.999wt%；所述W粉的平均粒径＜45μm；所述Ni粉的纯度为99.95~99.99wt%；所述Ni粉的平均粒径＜45μm；

（2）将步骤（1）封口后的模具进行热压烧结处理，得到钨镍合金烧结体；

其中，所述热压烧结处理包括如下内容：

（i）将步骤（1）封口后的模具放入热压烧结炉中，抽真空至100Pa以下，升温至1000~1050℃并保温60~90min，其中，控制所述封口后的模具的内部压强＜1MPa；

（ii）在步骤（i）所述保温结束后升温至1270~1350℃并保温50~70min，其中，控制所述封口后的模具的内部压强＜1MPa；

（iii）在步骤（ii）所述保温结束后，加压至25~35MPa并始终保持1270~1350℃，控制保温保压时间为60~180min；

（iv）在步骤（iii）所述保温保压结束后，关闭所述热压烧结炉并冷却，然后充入氩气至真空表示数为-0.06~-0.08MPa；

（3）将步骤（2）得到的钨镍合金烧结体进行机加工，得到钨镍合金溅射靶材。

2.根据权利要求1所述的热压制备方法，其特征在于，所述混合在混粉机中进行。

3.根据权利要求1所述的热压制备方法，其特征在于，所述混合采用加入锆球进行干混的方式；所述锆球与所述钨镍合金粉的球料质量比为(1~3):10。

4.根据权利要求1所述的热压制备方法，其特征在于，所述混合在氩气保护下进行。

5.根据权利要求1所述的热压制备方法，其特征在于，所述混合的时间为24~36h。

6.根据权利要求1所述的热压制备方法，其特征在于，步骤（1）所述模具为石墨模具。

7.根据权利要求1所述的热压制备方法，其特征在于，在步骤（1）将所述钨镍合金粉装入模具之后，所述封口之前，还包括压实处理。

8.根据权利要求7所述的热压制备方法，其特征在于，所述压实处理包括采用人工压柱方式进行压实处理，保证平面度＜1mm。

9.根据权利要求1所述的热压制备方法，其特征在于，步骤（i）所述升温的升温速率为8~12℃/min。

10.根据权利要求1所述的热压制备方法，其特征在于，步骤（ii）所述升温的升温速率为3~6℃/min。

11.根据权利要求1所述的热压制备方法，其特征在于，步骤（iii）所述加压的时间为50~70min。

12.根据权利要求1所述的热压制备方法，其特征在于，在步骤（iv）中，待所述热压烧结炉内的温度降至200℃后，将所述模具内的坯料取出，即可得到所述钨镍合金烧结体。

13.根据权利要求1所述的热压制备方法，其特征在于，步骤（3）所述机加工包括线切割和/或磨加工。

14.根据权利要求1所述的热压制备方法，其特征在于，在步骤（3）所述机加工后，将所述钨镍合金溅射靶材与背板进行焊接，再经过机加工至目标尺寸，随后依次进行检测、清洗、干燥以及包装，得到钨镍合金靶材组件。