[发明专利]一种集成光纤声波传感器

权利要求书

1.一种集成光纤声波传感器，包括光纤器件、弹性悬膜以及多个声波挡板，其特征在于，弹性悬膜上表面具有微孔阵列，其中每个微孔对应一个光纤器件；声波挡板设置在弹性悬膜上表面，位于微孔周围，声波挡板的排列方向不同，用于反射不同方向的声波或聚焦至微孔底部，以识别声波的传播方向；光纤器件位于弹性悬膜下方，其射出的光束，入射到弹性悬膜上的微孔；

所述微孔的底部厚度小于弹性悬膜的厚度；

微孔悬膜表面镀有光学反射膜。

2.根据权利要求1所述的集成光纤声波传感器，其特征在于，所述微孔孔径介于1微米至1厘米之间，微孔底部的微孔悬膜厚度介于2纳米至1毫米之间。

3.根据权利要求1或2所述的集成光纤声波传感器，其特征在于，所述光纤器件与弹性悬膜下表面之间的距离小于10cm，光纤器件用于减小出射光束的发散角，使得光束发散角小于5度。

4.根据权利要求3所述的集成光纤声波传感器，其特征在于，所述光纤器件选自微结构光纤、拉锥光纤、光波导、光纤准直器和光学透镜中一种。

5.根据权利要求1、2或4所述的集成光纤声波传感器，其特征在于，所述声波挡板通过盖板固定在微孔周围。

6.根据权利要求3所述的集成光纤声波传感器，其特征在于，所述声波挡板通过盖板固定在微孔周围。

7.根据权利要求1、2、4或6所述的集成光纤声波传感器，其特征在于，所述光纤器件对应固定在衬底上的凹槽阵列中。

8.根据权利要求3所述的集成光纤声波传感器，其特征在于，所述光纤器件对应固定在衬底上的凹槽阵列中。

9.根据权利要求5所述的集成光纤声波传感器，其特征在于，所述光纤器件对应固定在衬底上的凹槽阵列中。