[发明专利]一种测温探针阵列结构

权利要求书

1.一种测温探针阵列结构，其特征在于，包括:设置在罩盖(1)正面的PCB总成(2)以及设置在所述罩盖(1)反面的探针总成(5)，其中，所述PCB总成(2)至少包括垂直于所述罩盖(1)设置的柔性印刷电路板排线(21)以及通过柔性印刷电路板连接器(22)与所述柔性印刷电路板排线(21)相连接的贴合所述罩盖(1)设置的印刷电路板(23)，其中，

所述探针总成(5)至少包括探针主体(53)，所述探针主体(53)至少包括温度传感器(54)，弹簧(56)以及弹簧压盖(57)，其中，远离所述罩盖(1)的一端设置有温度传感器(54)，所述温度传感器(54)通过所述弹簧(56)弹性固定在设置于所述罩盖(1)上的弹簧压盖(57)上，所述温度传感器(54)通过一温度传感器引线(55)连接所述印刷电路板(23)。

2.根据权利要求1所述的测温探针阵列结构，其特征在于，所述探针总成(5)还包括用于承载所述探针主体(53)的探针安装盘(51)，所述探针安装盘(51)设置有：

用于安装探针主体(53)的通孔(511)；

用于对齐被测物体(7)的定位销孔(512)；

用于确定放置位置的定位缺口(513)。

3.根据权利要求1所述的测温探针阵列结构，其特征在于，所述探针总成(5)还包括高度限位柱(52)，其用于限定探针阵列的高度并保护探针主体(53)不会过度压缩。

4.根据权利要求1所述的测温探针阵列结构，其特征在于，还包括设置在所述罩盖(1)正面的卡线板(4)，所述卡线板(4)将所述柔性印刷电路板排线(21)卡紧夹持固定于所述罩盖(1)上。

5.根据权利要求2所述的测温探针阵列结构，其特征在于，还包括多个把手(3)，多个所述把手(3)均匀的设置在所述探针安装盘(51)的圆周上。

6.根据权利要求2所述的测温探针阵列结构，其特征在于，还包括用于保护探针阵列并防止运输碰撞的包装盒(6)，所述包装盒(6)半包覆所述探针阵列。

7.根据权利要求6所述的测温探针阵列结构，其特征在于，所述探针安装盘(51)还包括第一包装固定孔(514)，所述包装盒(6)设置有与所述第一包装固定孔(514)相适应的第二包装固定孔(61)，在工作状态下，一螺钉(62)穿过所述第一包装固定孔(514)、所述第二包装固定孔(61)以使得所述包装盒(6)固定在探针安装盘(51)上。

8.根据权利要求2所述的测温探针阵列结构，其特征在于，所述被测物体(7)为硅晶圆片。

9.根据权利要求1所述的测温探针阵列结构，其特征在于，在工作状态下，所述温度传感器(54)将采集到的信号依次通过所述温度传感器引线(55)、所述印刷电路板(23)、所述柔性印刷电路板连接器(22)、所述柔性印刷电路板排线(21)传输至一上位机或温度信号采集器(8)。