[发明专利]激光转移膜在审

专利信息
申请号: 202111359170.5 申请日: 2021-11-17
公开(公告)号: CN114628306A 公开(公告)日: 2022-06-14
发明(设计)人: 白明基;李广会;宋政翰 申请(专利权)人: 东丽尖端素材株式会社
主分类号: H01L21/683 分类号: H01L21/683;H01L33/48;C09J7/29
代理公司: 中国贸促会专利商标事务所有限公司 11038 代理人: 扈娟
地址: 韩国庆*** 国省代码: 暂无信息
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摘要:
搜索关键词: 激光 转移
【权利要求书】:

1.一种激光转移膜依次包括:

基材层;

热膨胀性光吸收层;以及

粘着层;

其中,在所述基材层和所述热膨胀性光吸收层之间包括有机缓冲层,

所述有机缓冲层具有0.1W/mK至0.3W/mK的热导率。

2.根据权利要求1所述的激光转移膜,其中,

所述基材层为玻璃。

3.根据权利要求1所述的激光转移膜,其中,

所述有机缓冲层的厚度为0.1μm至50μm。

4.根据权利要求1所述的激光转移膜,其中,

所述有机缓冲层包括酯基聚合物、丙烯酸基聚合物、烯烃基聚合物或其组合。

5.根据权利要求1所述的激光转移膜,其中,

所述基材层和所述有机缓冲层为单片结构。

6.根据权利要求1所述的激光转移膜,其中,

所述基材层和所述有机缓冲层的总厚度为10μm至2000μm。

7.根据权利要求1所述的激光转移膜,其中,

所述热膨胀性光吸收层的厚度为0.1μm至20μm。

8.根据权利要求1所述的激光转移膜,其中,

所述热膨胀性光吸收层包括光吸收剂和粘结剂。

9.根据权利要求8所述的激光转移膜,其中,

所述光吸收剂包括其中最大吸收波长为780nm至1,500nm的近红外线吸收染料、金属颗粒或其组合。

10.根据权利要求8所述的激光转移膜,其中,

基于100重量份的所述热膨胀性光吸收层,所述光吸收剂的含量为1重量份至15重量份。

11.根据权利要求1所述的激光转移膜,其中,

所述粘着层的厚度为1μm至30μm。

12.根据权利要求1所述的激光转移膜,其中,

所述粘着层的粘着力为0.5gf/in至500gf/in。

13.根据权利要求1所述的激光转移膜,进一步包括:

转移体,其粘附在所述粘着层的表面上。

14.根据权利要求13所述的激光转移膜,其中,

所述转移体包括半导体芯片。

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