[发明专利]相移器在线标定方法及装置在审

专利信息
申请号: 202111368708.9 申请日: 2021-11-18
公开(公告)号: CN114235023A 公开(公告)日: 2022-03-25
发明(设计)人: 周勇;邵珩;杨耀东;徐丽霞;祁俊峰 申请(专利权)人: 北京卫星制造厂有限公司
主分类号: G01D18/00 分类号: G01D18/00
代理公司: 北京谨诚君睿知识产权代理事务所(特殊普通合伙) 11538 代理人: 延慧;武丽荣
地址: 100086*** 国省代码: 北京;11
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摘要:
搜索关键词: 相移 在线 标定 方法 装置
【说明书】:

发明涉及一种相移器在线标定方法及装置,方法包括以下步骤:a、搭建标定所用的光路环境;b、调节测量板使检测仪产生纵向条纹;c、在测量板上标记各标定刻度线d、记录相移器起始电压,并缓慢单向改变相移器电压,使条纹缓慢移动;e、记录条纹途经的各标定刻度线时相移器的电压;f、相移器调回起始电压,重复步骤d、e;g、计算并下发相移器标定值。本发明能够克服离线相移器标定法的使用不方便的问题以及标定算法误差不易评判的问题。

技术领域

本发明涉及一种相移器在线标定方法及装置。

背景技术

相移器是激光剪切散斑干涉检测仪的关键部件,其一般利用压电陶瓷作为驱动部件。而由于压电陶瓷制造工艺和性能稳定性有限,再加上检测环境的影响,其膨胀属性也会有所波动,因此需要对其进行周期性的标定。相移器的标定效果也会直接影响到激光散斑干涉检测仪检测的图像质量,进而影响最终的测量精度。现有技术中,一般采用基于条纹分析和数学统计方法的离线标定方法,这种方式需要基于数学模型的统计算法完成,因此需要复杂的迭代运算,容易受到模型准确性的影响而导致标定误差。另外,离线测量需要对相移器进行拆装,因此不仅会造成使用方面的不便,还会受到相移器拆装时产生的新误差的影响。

发明内容

本发明的目的在于提供一种相移器在线标定方法及装置。

为实现上述发明目的,本发明提供一种相移器在线标定方法及装置,方法包括以下步骤:

a、搭建标定所用的光路环境;

b、调节测量板使检测仪产生纵向条纹;

c、在测量板上标记各标定刻度线;

d、记录相移器起始电压,并缓慢单向改变相移器电压,使条纹缓慢移动;

e、记录条纹途经的各标定刻度线时相移器的电压;

f、相移器调回起始电压,重复步骤d、e;

g、计算并下发相移器标定值。

根据本发明的一个方面,在所述步骤(a)中,所述光路环境为大剪切法测量光路环境,所述检测仪为迈克尔逊型激光剪切散斑干涉检测仪。

根据本发明的一个方面,在所述步骤(b)中,开启激光剪切散斑干涉检测仪,将剪切方向调至水平,旋转测量板的调试杆使激光剪切散斑干涉检测仪产生纵向条纹;所述测量板为平面板,表面刻有水平垂直刻度线和可旋转的调试杆。

根据本发明的一个方面,在所述步骤(c)中,以相邻同色条纹的中心为起点和终点,找到起点和终点多个等分点,经过这些点画出与条纹平行的直线,这些直线为标定刻度线。

根据本发明的一个方面,在所述步骤(d)中,所述的起点电压为此时相移器电压;所述的单向改变相移器电压是指连续升高或降低电压;

根据本发明的一个方面,在所述步骤(e)中,当条纹移动到标定刻度线时,记录相移器电压,即得到相移器本轮测量中的标定电压。再将相移器的电压值调回起点电压;

根据本发明的一个方面,在所述步骤(f)中,重复的次数不少于10次;

根据本发明的一个方面,在所述步骤(g)中,计算各标定刻度线的每次测量电压的平均值作为相移器标定后的电压,并将标定后的相移器电压保存或下发到电路控制系统;

相移器在线标定装置,包括激光剪切散斑干涉检测仪、相移器、测量板、参照物、扩束镜、CCD和反射镜。

根据本发明的一个方面,所述测量板包括带刻度的白底面板、支架、轴承、调试杆、受力杆和弹力绳;

所述面板通过所述轴承与所述支架连接;

所述受力杆固定在面板上,所述调试杆通过螺纹可旋转的安装到所述支架上;

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