[发明专利]送料机构及真空移载箱

说明书

本发明涉及一种送料机构及真空移载箱。送料机构包括：第一转移组件，能够沿第一方向往复移动；第二转移组件，设置于第一转移组件并能够相对第一转移组件沿第二方向往复移动；第三转移组件，设置于第二转移组件并能够相对第二转移组件沿第三方向往复移动，第三转移组件设置有运载组件；第一方向、第二方向和第三方向相互垂直。通过送料机构可以实现将上一工序中完成的镀膜件运送至下一工序处，避免了人工打开箱体转移镀膜件的这一过程，节省了抽真空的这一步骤，进而能够在一定程度上提高真空镀膜的生产效率。

技术领域

本发明涉及真空镀膜技术领域，特别是涉及送料机构及真空移载箱。

背景技术

真空镀膜技术是在真空中把金属、合金或化合物进行蒸发或溅射，使其在被涂覆的物体(称基板、基片或基体)上凝固并沉积的方法，称为真空镀膜。

目前,镀膜行业大部分采用的都是人工上料和下料，也就是说镀膜件每完成一次镀膜工序后都需要打开箱门，再将镀膜件转移至下一工序的工位处。在开启箱门后镀膜的真空环境被破坏。当镀膜件进行下个工序时，需要花费时间将箱内抽成真空。

发明内容

基于此，有必要针对现有的真空镀膜过程中，一次镀膜工序完成后需要取出镀膜件导致破坏箱内真空环境的问题，提供一种送料机构以能够转移相邻两道工序中的镀膜件，进而还提出一种包括该机构的真空移载箱。

一种送料机构，所述送料机构包括：

第一转移组件，能够沿第一方向往复移动；

第二转移组件，设置于所述第一转移组件并能够相对所述第一转移组件沿第二方向往复移动；

第三转移组件，设置于所述第二转移组件并能够相对所述第二转移组件沿第三方向往复移动，所述第三转移组件设置有运载组件；

所述第一方向、所述第二方向和所述第三方向相互垂直。

上述送料机构可以预先设置在真空移载箱内，由于第一转移组件能够沿第一方向往复移动、第二转移组件能够沿第二方向往复移动以及第三转移组件沿第三方向往复移动，且第一方向、第二方向和第三方向相互垂直，也即能够实现三维方向移动，因此通过送料机构可以实现将上一工序中完成的镀膜件运送至下一工序处，避免了人工打开箱体转移镀膜件的这一过程，节省了抽真空的这一步骤，进而能够在一定程度上提高真空镀膜的生产效率。

在其中一个实施例中，所述第一转移组件包括第一框架，所述第一框架具有收容腔以及连通所述收容腔与所述第一转移组件以外的外界空间的开口，所述开口朝向所述第一方向，所述第二转移组件设置在所述收容腔。

在其中一个实施例中，所述收容腔的底壁设置有滑槽，所述滑槽沿所述第二方向延伸，所述第二转移组件设置有与所述滑槽对应的定位套；

所述第一转移组件与所述第二转移组件之间设置导向件，所述导向件穿过所述滑槽与所述定位套，所述第二转移组件沿所述第二方向往复移动时带动所述导向件沿所述滑槽移动。

在其中一个实施例中，所述第二转移组件包括相连接的第二框架以及连接架，所述第二框架设置于所述收容腔内，所述第三转移组件与所述连接架之间设置有滑移组件，所述滑移组件沿所述第三方向分布，所述第三转移组件能够相对所述连接架沿所述第三方向移动。

在其中一个实施例中，所述第三转移组件包括相对设置的第一安装板和第二安装板以及支撑所述第一安装板和所述第二安装板的支撑板，所述运载组件分别设置在所述第一安装板和所述第二安装板上，所述第一安装板和所述第二安装板相同的一侧分别设置的所述运载组件为第一组运载组件，所述第一安装板和所述第二安装板另一相同的一侧分别设置的所述运载组件为第二组运载组件。

在其中一个实施例中，所述送料机构还包括驱动单元，所述驱动单元包括驱动所述第一转移组件移动的第一驱动模块、驱动所述第二转移组件移动的第二驱动模块以及驱动所述第三转移组件移动的第三驱动模块。