[发明专利]一种双面自动拆装晶圆装置

权利要求书

1.一种双面自动拆装晶圆装置，其特征是，包括底板(1)、旋转台(2)、晶圆搬运机构(3)、挂具定位框(4)、基座(5)、基座水平直线移动机构(6)、吸盘(7)、吸盘转动机构(8)、支架翻转机构(9)、支架(10)，所述底板(1)上安装有旋转台(2)和晶圆搬运机构(3)，旋转台(2)上固定有挂具定位框(4)和基座水平直线移动机构(6)，基座水平直线移动机构(6)与基座(5)相连，基座(5)滑配连接在旋转台(2)上，基座(5)上安装有支架翻转机构(9)，支架翻转机构(9)与支架(10)相连，支架(10)铰接在基座(5)上，吸盘(7)铰接在支架(10)上，支架(10)上安装有吸盘转动机构(8)，吸盘转动机构(8)与吸盘(7)相连。

2.根据权利要求1所述的一种双面自动拆装晶圆装置，其特征在于：所述旋转台(2)由转盘(21)、主动同步轮(22)、被动同步轮(23)、同步带(24)、电机一(25)组成，转盘(21)转动连接在底板(1)上，转盘(21)与被动同步轮(23)固定在一起，被动同步轮(23)和主动同步轮(22)均啮合在同步带(24)上，电机一(25)的机体固定在底板(1)上，电机一(25)的输出轴固定在主动同步轮(22)上。

3.根据权利要求1所述的一种双面自动拆装晶圆装置，其特征在于：所述晶圆搬运机构(3)由支撑架(31)、电机三(32)、支承座(33)、转杆(34)、电机二(35)、双头气缸(36)组成，支撑架(31)上固定有电机三(32)，电机三(32)的输出轴上固定有支承座(33)，支承座(33)上转动连接有转杆(34)，电机二(35)的机体固定在支承座(33)上，电机二(35)的输出轴和转杆(34)尾端均固定有同步轮二，两个同步轮二均啮合在同步带二上，转杆(34)顶端固定有双头气缸(36)，双头气缸(36)的两个活塞杆端均固定有吸盘一，吸盘一上分布有数个吸孔。

4.根据权利要求1所述的一种双面自动拆装晶圆装置，其特征在于：所述基座水平直线移动机构(6)由滚珠丝杆、丝杆旋转电机组成，丝杆旋转电机的机体固定在旋转台(2)上，丝杆旋转电机的输出轴固定在滚珠丝杆一端，滚珠丝杆的杆体转动连接在旋转台(2)上，滚珠丝杆上的螺母固定在滑块上，滑块固定在基座(5)上。

5.根据权利要求1所述的一种双面自动拆装晶圆装置，其特征在于：所述吸盘转动机构(8)由电缸(81)、支座(82)、U形件(83)组成，电缸(81)的缸体固定在支架(10)上，电缸(81)的活塞杆固定在支座(82)上，支座(82)铰接在U形件(83)一端，U形件(83)另一端铰接在吸盘(7)底部。

6.根据权利要求1所述的一种双面自动拆装晶圆装置，其特征在于：所述支架翻转机构(9)由滚珠丝杆二(91)、丝杆旋转电机二(92)、滑块(93)、连杆(94)组成，丝杆旋转电机二(92)的机体固定在基座(5)上，丝杆旋转电机二(92)的输出轴固定在滚珠丝杆二(91)的杆体一端，滚珠丝杆二(91)的螺母固定在滑块(93)上，滑块(93)滑配连接在基座(5)上，连杆(94)一端铰接在滑块(93)上，连杆(94)另一端铰接在支架(10)上。

7.根据权利要求1所述的一种双面自动拆装晶圆装置，其特征在于：所述挂具定位框(4)上固定有气缸(11)，气缸(11)的活塞杆端固定有吸盘，吸盘位于挂具定位框(4)内，吸盘通过管路与真空发生器相连，该管路上安装有负压传感器。

8.根据权利要求1所述的一种双面自动拆装晶圆装置，其特征在于：所述挂具定位框(4)侧端依次排列有数个激光传感器(12)。