[发明专利]一种AZ91D镁合金电子束蒸镀铜的方法在审
| 申请号： | 202111370964.1 | 申请日： | 2021-11-18 |
| 公开（公告）号： | CN114182198A | 公开（公告）日： | 2022-03-15 |
| 发明（设计）人： | 贤锐华;李新凯;郭金科;辛喆 | 申请（专利权）人： | 桂林电子科技大学 |
| 主分类号： | C23C14/02 | 分类号： | C23C14/02;C23C14/16;C23C14/30;C23C14/58 |
| 代理公司： | 北京轻创知识产权代理有限公司 11212 | 代理人： | 姚晓丽 |
| 地址： | 541004 广西*** | 国省代码： | 广西;45 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 az91d 镁合金 电子束 镀铜 方法 | ||
1.一种AZ91D镁合金电子束蒸镀铜的方法，其特征在于，包括如下步骤：
步骤1：前处理
取AZ91D镁合金，进行切割、铣削和清洗，得到处理后的AZ91D镁合金；取铜靶材，进行清洗，得到处理后的铜靶材；
步骤2：电子束蒸镀处理
采用电子束蒸镀机，在步骤1处理后的AZ91D镁合金表面蒸镀步骤1处理后的铜靶材，然后对蒸镀后的试件加热，保温，冷却，清洗，即得到具有铜镀膜的AZ91D镁合金成品。
2.根据权利要求1所述的AZ91D镁合金电子束蒸镀铜的方法，其特征在于，步骤1中，所述铣削后的AZ91D镁合金的粗糙度Ra≥6.3，表面尺寸误差为±0.05mm，断屑长度为1mm-2mm。
3.根据权利要求1所述的AZ91D镁合金电子束蒸镀铜的方法，其特征在于，步骤2中，所述电子束蒸镀机的电子枪室的真空度为1.33×10-3Pa，热加工室的真空度为3×10-2Pa，电子束流加速电压为60KV，电子束聚焦电流为390mA，电子束加热束流为20mA-30mA，电子枪移动速度为1mm/s-5mm/s，电子束束斑直径为2mm。
4.根据权利要求1所述的AZ91D镁合金电子束蒸镀铜的方法，其特征在于，步骤2中，所述加热的温度为413℃±5℃。
5.根据权利要求1所述的AZ91D镁合金电子束蒸镀铜的方法，其特征在于，步骤2中，所述保温的时间为2h。
6.根据权利要求1所述的AZ91D镁合金电子束蒸镀铜的方法，其特征在于，步骤2中，所述冷却是指采用水浸泡至常温。
7.根据权利要求1所述的AZ91D镁合金电子束蒸镀铜的方法，其特征在于，步骤1和步骤2中，所述清洗均指先采用丙酮清洗2-3次后，再采用无水乙醇清洗2-3次。
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