[发明专利]一种承载装置及气相外延设备

权利要求书

1.一种承载装置，用于在前置真空腔室和反应腔室之间传输工件，其特征在于，所述前置真空腔室内设置有第一平移驱动机构，所述承载装置包括托盘组件、第二平移驱动机构和连接件；

所述第二平移驱动机构设置在所述托盘组件的背面，所述第二平移驱动机构通过所述连接件可移动地设置在所述第一平移驱动机构中；并且，

所述第一平移驱动机构驱动所述托盘组件沿第一方向平移，所述第二平移驱动机构驱动所述托盘组件沿第二方向平移，所述第一方向与所述第二方向不同。

2.根据权利要求1所述的承载装置，其特征在于，所述托盘组件包括相对间隔设置的第一托盘和第二托盘，所述第一托盘背面设置有所述第二平移驱动机构；

所述承载装置还包括至少一个竖直驱动机构，所述竖直驱动机构设置在所述第一托盘和所述第二托盘之间，以驱动所述第二托盘升降。

3.根据权利要求2所述的承载装置，其特征在于，所述竖直驱动机构包括固定套筒和伸缩件；

所述固定套筒设置在所述第一托盘朝向所述第二托盘的一侧，所述伸缩件的第一端可伸缩地设置在所述固定套筒中，所述伸缩件的第二端与所述第二托盘抵接。

4.根据权利要求3所述的承载装置，其特征在于，所述竖直驱动机构还包括设置在所述固定套筒外周壁上的按钮；

在所述按钮处于按下状态时，所述伸缩件向靠近或远离所述固定套筒的方向移动；

在所述按钮处于复位状态时，所述伸缩件固定在所述固定套筒中。

5.根据权利要求1所述的承载装置，其特征在于，所述托盘组件的外侧壁设置有第一卡接件，所述反应腔室外锁具外围设置有保护罩，所述保护罩上设置有第二卡接件，所述第一卡接件卡设在所述第二卡接件中。

6.根据权利要求5所述的承载装置，其特征在于，所述第二卡接件包括设置在所述保护罩上的固定卡板以及与所述固定卡板活动连接的扣板，所述扣板卡设在所述第一卡接件中。

7.根据权利要求2所述的承载装置，其特征在于，所述承载装置还包括支撑组件，所述支撑组件可折叠地设置在所述托盘组件的背面；

在所述托盘组件位于所述前置真空腔室内侧时，所述支撑组件处于折叠状态；

在所述托盘组件位于所述前置真空腔室外侧时，所述支撑组件处于打开状态，以支撑所述托盘组件。

8.根据权利要求7所述的承载装置，其特征在于，所述支撑组件包括限位件、与所述限位件相对间隔设置的支撑件以及分别连接所述限位件和所述支撑件的联动轴，所述限位件和所述支撑件均可转动地设置在所述第一托盘上；

在所述托盘组件移动至所述前置真空腔室内侧时，带动所述限位件转动至第一限位位置，并通过所述联动轴带动所述支撑件转动至折叠状态；

在所述托盘组件移动至所述前置真空腔室外侧时，带动所述限位件转动至第二限位位置，并通过所述联动轴带动所述支撑件转动至打开状态。

9.根据权利要求8所述的承载装置，其特征在于，所述支撑组件还包括滚动件和活动件；

所述滚动件分别连接所述限位件和所述第一托盘，所述活动件分别连接所述支撑件和所述第一托盘。

10.一种气相外延设备，包括前置真空腔室、反应腔室以及承载装置，其特征在于，所述承载装置采用权利要求1至9任一项所述的承载装置。