[发明专利]一种纳米网状疏液膜及其制备装置和制备方法

权利要求书

1.一种纳米网状疏液膜，其特征在于，其包括纳米网状结构(401)以及浸润在所述纳米网状结构(401)内部的氟基润滑油(402)，其中所述纳米网状结构为沉积在一衬底(30)上的含氟分子(11)。

2.根据权利要求1所述的纳米网状疏液膜，其特征在于，所述含氟分子(11)是特氟龙粉末或特氟龙颗粒受热分解形成的小分子。

3.一种纳米网状疏液膜的制备装置，其特征在于，其包括加热槽(9)、收容所述加热槽(9)的真空腔室(20)以及位于所述加热槽(9)内的坩埚(10)，权利要求1所述的衬底(30)位于所述加热槽(9)上方，权利要求1的纳米网状疏液膜的制备在所述坩埚(10)内进行。

4.一种纳米网状疏液膜的制备方法，其特征在于，包括如下步骤：

S1：真空加热特氟龙材料形成纳米网状结构；

S2：氟基润滑油加入步骤S1的纳米网状结构的里面并形成疏液膜。

5.根据权利要求4所述的纳米网状疏液膜的制备方法，其特征在于，步骤S1的具体步骤如下：

S11：取特氟龙粉末或颗粒加入坩埚中；

S12：将坩埚置于加热槽内，衬底倒置放置于加热槽上方，对加热槽所处的腔室进行抽真空；

S13：加热坩埚，同时让衬底旋转起来，特氟龙粉末或颗粒挥发出含氟分子沉积在衬底上；

S14：当蒸镀到目标厚度或特氟龙材料挥发完全后，衬底的表面形成纳米网状结构。

6.根据权利要求5所述的纳米网状疏液膜的制备方法，其特征在于，步骤S13中，坩埚加热至350-500℃之间。

7.根据权利要求5所述的纳米网状疏液膜的制备方法，其特征在于，步骤S14还包括：停止加热和抽真空，往腔室内充入气体至可以打开腔室，取出带有纳米网状结构的衬底。

8.根据权利要求4所述的纳米网状疏液膜的制备方法，其特征在于，步骤S2中，氟基润滑油通过旋涂的方法添加到纳米网状结构里。