[发明专利]晶圆清洗设备的卡盘组件及晶圆清洗设备

权利要求书

1.一种晶圆清洗设备的卡盘组件，其特征在于，所述卡盘组件包括顶升机构(100)、卡盘基体(200)、卡盘环(300)和驱动器(400)，所述卡盘基体(200)用于承载晶圆(500)，所述顶升机构(100)用于带动承载于所述卡盘基体(200)上的所述晶圆(500)升降，所述卡盘环(300)固定设置于所述卡盘基体(200)的下方，所述驱动器(400)用于驱动所述卡盘基体(200)相对于所述卡盘环(300)转动，其中，

所述顶升机构(100)包括顶针(110)、转动部(120)和检测元件(130)；

所述转动部(120)与所述卡盘环(300)转动连接，所述转动部(120)与所述卡盘基体(200)可相对滑动，所述卡盘基体(200)转动时可带动所述转动部(120)转动；

所述顶针(110)穿设在所述卡盘基体(200)中，所述转动部(120)与所述顶针(110)相接触，所述转动部(120)转动的过程中可带动所述顶针(110)升降，当所述顶针(110)升高至预设位置时，所述转动部(120)触发所述检测元件(130)。

2.根据权利要求1所述的卡盘组件，其特征在于，所述转动部(120)包括主体部(121)，所述主体部(121)与所述卡盘环(300)转动连接，其上开设有滑槽(1211)，所述卡盘基体(200)上设置有定位件(210)，所述定位件(210)位于所述滑槽(1211)内，且所述定位件(210)与所述滑槽(1211)滑动配合，所述卡盘基体(200)转动时所述定位件(210)与所述滑槽(1211)的侧壁抵接带动所述转动部(120)转动。

3.根据权利要求2所述的卡盘组件，其特征在于，所述定位件(210)外套设有第一轴承(220)，所述第一轴承(220)与所述滑槽(1211)的侧壁相接触。

4.根据权利要求2所述的卡盘组件，其特征在于，所述转动部(120)还包括顶升延伸部(122)和触发延伸部(123)，所述顶升延伸部(122)和所述触发延伸部(123)分别位于所述主体部(121)相背两侧，所述顶升延伸部(122)和所述触发延伸部(123)均沿背离所述主体部(121)的一侧延伸，所述顶升延伸部(122)背离所述主体部(121)的一端与所述顶针(110)相接触，所述触发延伸部(123)背离所述主体部(121)的一端与所述检测元件(130)相对设置。

5.根据权利要求4所述的卡盘组件，其特征在于，所述顶升延伸部(122)和所述触发延伸部(123)沿所述转动部(120)的转动中心对称分布。

6.根据权利要求4所述的卡盘组件，其特征在于，所述顶升延伸部(122)背离所述主体部(121)的一端为第一端，所述第一端设置有第二轴承(124)，所述第二轴承(124)与所述顶针(110)滚动接触。

7.根据权利要求6所述的卡盘组件，其特征在于，所述第一端朝向所述顶针(110)的一侧延伸有相对设置的两个第一支撑凸起(1221)，每个所述第一支撑凸起(1221)开设有第一安装孔(1221a)，所述两个第一支撑凸起(1221)的所述第一安装孔(1221a)相对设置；

第一安装轴(126)穿入所述第一安装孔(1221a)内，所述第二轴承(124)套装于所述第一安装轴(126)外，所述第二轴承(124)位于所述两个第一支撑凸起(1221)之间。

8.根据权利要求4所述的卡盘组件，其特征在于，所述触发延伸部(123)背离所述主体部(121)的一端为第二端，所述第二端设置有第三轴承(125)，所述第三轴承(125)可与所述检测元件(130)相接触，以触发所述检测元件(130)。