[发明专利]基于介质阻挡放电的激光诱导击穿光谱检测系统有效
申请号: | 202111386341.3 | 申请日: | 2021-11-22 |
公开(公告)号: | CN114062348B | 公开(公告)日: | 2023-09-12 |
发明(设计)人: | 王哲;顾炜伦;侯宗余;刘家岑;宋玉洲;姬建训;龙杰 | 申请(专利权)人: | 清华大学 |
主分类号: | G01N21/71 | 分类号: | G01N21/71;G01N21/01 |
代理公司: | 北京鸿元知识产权代理有限公司 11327 | 代理人: | 袁文婷;张娓娓 |
地址: | 10008*** | 国省代码: | 北京;11 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 基于 介质 阻挡 放电 激光 诱导 击穿 光谱 检测 系统 | ||
1.一种基于介质阻挡放电的激光诱导击穿光谱检测系统,其特征在于,包括介质阻挡放电模块和激光诱导击穿光谱模块;其中,
所述介质阻挡放电模块包括两个相向设置在待测固体样品的上方的放电器,两个所述放电器相互靠近的一端均发射等离子体射流,两条所述等离子体射流对冲后在所述待测固体样品的表面形成介质阻挡放电等离子体环境,所述介质阻挡放电等离子体环境为稳定流场;并且,
所述激光诱导击穿光谱模块包括激光器、光纤探头以及光谱仪,所述激光器发射的激光通过所述介质阻挡放电等离子体环境后照射在所述待测固体样品的表面以产生激光等离子体,所述激光等离子体在所述介质阻挡放电等离子体环境中产生光子,所述光子通过所述光纤探头采集进入所述光谱仪。
2.如权利要求1所述的基于介质阻挡放电的激光诱导击穿光谱检测系统,其特征在于,
所述放电器包括主体管、针形电极、环形电极以及交流电源;其中,
所述主体管的一端作为所述放电器发射端,所述针形电极通过所述主体管的另一端插入所述主体管的内部,所述环形电极套设在所述主体管的外壁上;并且,
所述交流电源的负极与所述针形电极电性连接并接地,所述交流电源的正极与所述环形电极电性连接。
3.如权利要求2所述的基于介质阻挡放电的激光诱导击穿光谱检测系统,其特征在于,
所述主体管的插入所述针形电极的一端通过橡胶或玻璃胶密封。
4.如权利要求2所述的基于介质阻挡放电的激光诱导击穿光谱检测系统,其特征在于,
在所述主体管的侧壁上开设有导通口,所述主体管的内部通过所述导通口通入工作气体。
5.如权利要求4所述的基于介质阻挡放电的激光诱导击穿光谱检测系统,其特征在于,
所述工作气体包含氦气、氖气、氩气以及氮气中的至少一种气体,所述工作气体的流率为200mL/min~1500mL/min。
6.如权利要求2所述的基于介质阻挡放电的激光诱导击穿光谱检测系统,其特征在于,
在所述待测固体样品上设置有支架,在所述支架的两侧对称设置有开口端,两个所述放电器的发射端分别与两个所述开口端固定连接。
7.如权利要求2所述的基于介质阻挡放电的激光诱导击穿光谱检测系统,其特征在于,
所述的针形电极为钨铜合金制件,所述环形电极为铜或铝制件,所述主体管为石英管。
8.如权利要求1所述的基于介质阻挡放电的激光诱导击穿光谱检测系统,其特征在于,
所述放电器发射的等离子体射流的方向与水平方向的夹角在0°~30°之间。
9.如权利要求1所述的基于介质阻挡放电的激光诱导击穿光谱检测系统,其特征在于,
所述激光诱导击穿光谱模块还包括聚焦透镜,所述激光器发射的激光通过所述聚焦透镜聚焦在所述待测固体样品的表面。
10.如权利要求1至9中任意一项所述的基于介质阻挡放电的激光诱导击穿光谱检测系统,其特征在于,
所述激光诱导击穿光谱模块还包括计算机,所述光谱仪将所述光子的光信号转换为电信号并传输至所述计算机,以在所述计算机上得到所述待测固体样品的光谱图。
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