[发明专利]一种基于寻找晶圆直边的晶圆对位方法和系统

权利要求书

1.一种基于寻找晶圆直边的晶圆对位方法，其特征在于，包括：

转盘旋转晶圆并沿着晶圆的外边缘逐帧拍照，并记录拍摄图像时所旋转的角度；

对拍到的照片逐帧处理并提取图像的边缘信息，包括：对晶圆纹理图像进行高斯滤波；对高斯滤波后的图像沿X和Y方向求取一阶偏导数，求取其幅值作为边缘信息；对所述边缘信息的图像进行二值化处理；对所述二值化后的图像进行形态学膨胀操作；对形态学膨胀操作所得到的图像进行骨架提取；

对得到的图像边缘信息利用最小二乘法，拟合直线，包括：获得骨架的位置坐标，然后利用最小二乘法对骨架点集进行直线拟合；

根据边缘点和拟合的直线关系来确定是否为直边，包括：计算骨架点集到拟合出的直线的距离，当所述距离大于3的点的个数小于总点数的1/3时候，则认为所述图像包含对位的直线，并根据斜率求取所述直线的倾斜角；

根据直边的倾斜角度以及所在图像的旋转角度，完成晶圆对位。

2.根据权利要求1所述的一种基于寻找晶圆直边的晶圆对位方法，其特征在于，转盘旋转晶圆并沿着晶圆的外边缘逐帧拍照，并记录拍摄图像时所旋转的角度，包括：

在转盘旋转晶圆的同时，相机对着晶圆的外边缘逐帧拍照，并记录所拍摄图像时旋转的角度。

3.根据权利要求1所述的一种基于寻找晶圆直边的晶圆对位方法，其特征在于，所述高斯滤波中的高斯核采用标准差为1.0，核大小为5*5的整数值高斯核。

4.根据权利要求1所述的一种基于寻找晶圆直边的晶圆对位方法，其特征在于，根据直边的倾斜角度以及所在图像的旋转角度，完成晶圆对位，包括：

根据带直边图像拍摄时候的旋转角度减去所述直线的倾斜角度，再反向旋转减去倾斜角度后的角度即完成晶圆直边的对位。

5.一种基于寻找晶圆直边的晶圆对位系统，其特征在于，包括：

拍照模块，用于转盘旋转晶圆并沿着晶圆的外边缘逐帧拍照，并记录拍摄图像时所旋转的角度；

边缘提取模块，用于对拍到的照片逐帧处理并提取图像的边缘信息，包括：对晶圆纹理图像进行高斯滤波；对高斯滤波后的图像沿X和Y方向求取一阶偏导数，求取其幅值作为边缘信息；对所述边缘信息的图像进行二值化处理；对所述二值化后的图像进行形态学膨胀操作；对形态学膨胀操作所得到的图像进行骨架提取；

直线拟合模块，用于对得到的图像边缘信息利用最小二乘法，拟合直线，包括：获得骨架的位置坐标，然后利用最小二乘法对骨架点集进行直线拟合；

直边判断模块，用于根据边缘点和拟合的直线关系来确定是否为直边，包括：计算骨架点集到拟合出的直线的距离，当所述距离大于3的点的个数小于总点数的1/3时候，则认为所述图像包含对位的直线，并根据斜率求取所述直线的倾斜角；

晶圆对位模块，用于根据直边的倾斜角度以及所在图像的旋转角度，完成晶圆对位。

6.一种电子设备，包括存储器、处理器及存储在所述存储器上并可在所述处理器上运行的计算机程序，其特征在于，所述处理器运行所述计算机程序以实现如权利要求1-4任一项所述的方法。

7.一种计算机可读存储介质，其上存储有计算机程序，其特征在于，所述程序被处理器执行实现如权利要求1-4中任一项所述的方法。