[发明专利]玻璃基板蒸镀装置

权利要求书

1.一种玻璃基板蒸镀装置，其特征在于，包括：

电极，位于玻璃基板的下方；所述玻璃基板设有多个成品区域和围绕在所述成品区域周围的废料区域；所述电极的顶面用于铺设蒸镀材料；

多个支撑组件，支撑于所述电极与所述玻璃基板之间，并使所述蒸镀材料的顶部与所述玻璃基板之间形成有间隙，所述间隙内通入有冷却气体，所述支撑组件抵接于所述玻璃基板的所述废料区域。

2.根据权利要求1所述的玻璃基板蒸镀装置，其特征在于，所述蒸镀材料的顶部开设有沿预设方向延伸的凹槽。

3.根据权利要求2所述的玻璃基板蒸镀装置，其特征在于，所述凹槽为螺旋状或迷宫式结构。

4.根据权利要求1所述的玻璃基板蒸镀装置，其特征在于，所述蒸镀材料的顶面设有多个凹坑。

5.根据权利要求1所述的玻璃基板蒸镀装置，其特征在于，所述支撑组件包括：

底座，所述底座设有安装孔；

支撑件，所述支撑件的第一端插设于所述安装孔内并能沿所述安装孔滑动，所述支撑件的第二端抵接于所述玻璃基板的所述废料区域；

锁紧件，用于将所述支撑件与所述底座锁定或解锁。

6.根据权利要求5所述的玻璃基板蒸镀装置，其特征在于，所述安装孔的内壁设有内螺纹，所述支撑件第一端的外侧设有与所述内螺纹相匹配的外螺纹。

7.根据权利要求5所述的玻璃基板蒸镀装置，其特征在于，所述支撑件的第二端设有支撑部，所述支撑部与所述玻璃基板的所述废料区域抵接，所述支撑部与所述玻璃基板的接触面积大于所述支撑件的横截面面积。

8.根据权利要求1所述的玻璃基板蒸镀装置，其特征在于，多个所述支撑组件中，部分所述支撑组件沿第一方向间隔布置，且部分所述支撑组件沿第二方向间隔布置，所述第一方向与所述第二方向垂直。

9.根据权利要求1所述的玻璃基板蒸镀装置，其特征在于，所述支撑组件为液压缸、气缸或电动推杆。

10.根据权利要求1-9任一项所述的玻璃基板蒸镀装置，其特征在于，所述电极的顶面开设有滑槽，所述支撑组件能沿对应的所述滑槽滑动。