[发明专利]一种用于晶圆测试的高频探针卡

说明书

本发明属于集成电路测试技术领域，尤其为一种用于晶圆测试的高频探针卡，包括连接座，所述连接座上滑动安装有面板，所述连接座上固定安装有连接测试机和集成芯片信号接点的探针组，所述探针组贯穿面板并和面板滑动连接在一起，所述面板上可拆卸安装有矫正组件，所述矫正组件位于探针组的外侧。本发明当探针组的某一检测部弯曲或者磨损严重而和集成芯片的某一个信号接点无法正常接触时，指示组件将发出指示，从而提醒使用者对探针组进行维护，确保整个探针组能够正常的导通测试机和集成芯片；矫正组件能够对磨损或弯曲严重的检测部进行矫正，确保自身能够对测试机和集成芯片起到一个导通的作用，无需整体进行更换，维护成本较低。

技术领域

本发明涉及集成电路测试技术领域，尤其涉及一种用于晶圆测试的高频探针卡。

背景技术

自智能手机问世以来，移动数据流量呈爆炸式增长，随着日后进一步智能化、以使用者为中心的终端设备和设备间通信终端的出现，这种趋势将进一步加速，不断追求更快的速度，通信技术变化对表面声波滤波器芯片的要求很大，比起手机出货量，随着通信时代的发展变化，要覆盖的频段也随之增加，因此必须搭载表面声波滤波器芯片，且所需搭载量也成比例增加，表面声波滤波器是智能手机上搭载的射频、Wi-Fi、蓝牙、国家间移动通信认证等操作中必不可少的部件，而高频测试探针卡就是用以检测此类芯片是否存在缺陷的一种装置。

但是，测试探针卡上的探针在长时间测试操作过程当中很容易出现磨损甚至弯曲严重的情况，从而导致探针无法正常的在测试机和集成芯片之间起到一个电性连接的目的，而且探针的体积较小，弯曲和磨损的严重的探针视觉很难检查出来，很容易对后续集成芯片测试结果造成影响，同时现有的测试探针出现损坏时，则需要对整体进行更换，成本较高。

因此，我们提出了一种用于晶圆测试的高频探针卡用于解决上述问题。

发明内容

本发明的目的是为了解决现有技术中存在的缺点，而提出的一种用于晶圆测试的高频探针卡。

为了实现上述目的，本发明采用了如下技术方案：一种用于晶圆测试的高频探针卡，包括连接座，所述连接座上滑动安装有面板，所述连接座上固定安装有连接测试机和集成芯片信号接点的探针组，所述探针组贯穿面板并和面板滑动连接在一起，所述面板上可拆卸安装有矫正组件，所述矫正组件位于探针组的外侧，所述矫正组件安装于面板上端时对探针组工作状态检测，所述矫正组件拆卸时对探针组进行捋直与矫正。

优选的，所述矫正组件包括矩形框，所述矩形框内固定安装有对损坏探针组检测的指示组件，所述指示组件包括矩形板，所述矩形板上固定安装有能够对弯曲的探针组进行矫直的多个夹持组件，所述连接座上开设有凹槽，所述面板和凹槽的内壁滑动连接在一起，所述凹槽的底部内壁上固定安装有多个导柱和多个弹簧，多个弹簧的顶端均和面板可拆卸式的连接在一起，所述面板上开设有和多个导柱相适配的导孔。

优选的，所述指示组件完全位于矩形框内，所述指示组件的顶部和矩形框的顶部之间形成定位部，所述面板的顶部中心位置开设有环状槽，所述矩形框和环状槽可拆卸式的连接在一起。

优选的，所述探针组包括和凹槽底部内壁固定连接在一起的PCB板，所述PCB板上开设有多个呈线性分布的矩形槽，所述矩形槽内可拆卸式的安装有探针模组，所述探针模组包括条形板，所述条形板上固定安装有多个呈线性分布的连接探针。

优选的，所述条形板包括和条形板可拆卸式连接在一起的安装部，所述安装部上固定安装有弹性部，所述弹性部远离安装部的一端固定安装有检测部，所述检测部和探针孔的内部滑动连接在一起。

优选的，所述矩形板上开设有多个和检测部相适配的探针孔，所述矩形板上固定安装有和多个探针孔数量相等的灯珠，所述灯珠上设有两个接线柱，两个接线柱延伸至对应的探针孔内，所述连接探针在正常状态下与两个接线柱均接触，所述连接探针插接于探针孔内时与两个接线柱电性连接，且所述连接探针、两个接线柱、灯珠形成闭合通路。