[发明专利]一种高精度光刻胶用树脂及其制备方法在审
| 申请号： | 202111391252.8 | 申请日： | 2021-11-23 |
| 公开（公告）号： | CN114133474A | 公开（公告）日： | 2022-03-04 |
| 发明（设计）人： | 朱晓群;聂俊;李三保 | 申请（专利权）人： | 南京极速优源感光材料研究院有限公司 |
| 主分类号： | C08F212/08 | 分类号： | C08F212/08;C08F220/18;C08F212/14;C08F220/34;C08F222/14;G03F7/004 |
| 代理公司： | 常州佰业腾飞专利代理事务所(普通合伙) 32231 | 代理人： | 李静 |
| 地址： | 211110 江苏省南京市江宁区将军*** | 国省代码： | 江苏;32 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 高精度 光刻 树脂 及其 制备 方法 | ||
1.一种高精度光刻胶用树脂的制备方法，其特征在于，采用化合物(A)、苯乙烯、衣康酸酯和甲基丙烯酸酯为聚合单体，通过自由基聚合反应，制备得到所述光刻胶用树脂；
所述化合物(A)为具有至少一个烯属不饱和双键的胺类化合物。
2.根据权利要求1所述的一种高精度光刻胶用树脂的制备方法，其特征在于，所述自由基聚合反应为将聚合单体溶于有机溶剂，通过热自由基引发剂和链转移剂，在聚合温度为50～120℃下，反应2～480min。
3.根据权利要求1所述的一种高精度光刻胶用树脂的制备方法，其特征在于，所述聚合单体中苯乙烯摩尔分数为0～0.6、衣康酸酯的摩尔分数为0～0.5、甲基丙烯酸酯的摩尔分数为0～0.5、化合物(A)的摩尔分数为0.05～0.5。
4.根据权利要求1所述的一种高精度光刻胶用树脂的制备方法，其特征在于，所述热自由基引发剂为过氧化物或偶氮化物，且所述热自由基引发剂的用量为所述聚合单体总质量的1％～10％。
5.根据权利要求1所述的一种高精度光刻胶用树脂的制备方法，其特征在于，所述链转移剂为硫醇类链转移剂，且所述链转移剂的用量为所述聚合单体总质量的0～5％。
6.根据权利要求1所述的一种高精度光刻胶用树脂的制备方法，其特征在于，所述有机溶剂为乙二醇甲醚、丙二醇甲醚、乙二醇甲醚醋酸酯、丙二醇甲醚醋酸酯、乳酸乙酯、乙酸丁酯和甲基戊基酮中的一种或多种。
7.根据权利要求1所述的一种高精度光刻胶用树脂的制备方法，其特征在于，化合物(A)具有如下结构式：
其中，R1为H或甲基；R2为苯环或羰基；R3为O或N，且R3的个数为0或1；R4，R5独立地选自H、甲基、乙基、丙基中的任一种；n为0～5。
8.根据权利要求7所述的一种高精度光刻胶用树脂的制备方法，其特征在于，R2为苯环，R3的个数为0。
9.一种如权利要求1-8任一项所述方法制备的高精度光刻胶用树脂，其特征在于，具有如下结构式：
其中，R6、R7、R8的结构通式为：
R9为H或CH3，x＝0～5。
10.根据权利要求9所述的一种高精度光刻胶用树脂，其特征在于，x＝0～2，所述树脂的重均分子量为3000～30000，分子量分布指数为1.1～2.0。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于南京极速优源感光材料研究院有限公司，未经南京极速优源感光材料研究院有限公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/pat/books/202111391252.8/1.html，转载请声明来源钻瓜专利网。
