[发明专利]超疏水表面的飞秒激光烧蚀-表面覆膜的复合加工方法

权利要求书

1.一种超疏水表面的飞秒激光烧蚀-表面覆膜的复合加工方法，其特征在于，首先采用飞秒脉冲激光刻蚀基底材料样品表面，得到具有微纳阵列表面的材料样品；然后在具有微纳阵列表面的材料样品上涂覆上一层低能态疏水薄膜，得到低能态疏水薄膜-微纳阵列结构表面复合材料，实现物理疏水和化学疏水的综合疏水性能。

2.如权利要求1所述的一种超疏水表面的飞秒激光烧蚀-表面覆膜的复合加工方法，其特征在于，所述低能态疏水薄膜为聚合物薄膜或石墨烯薄膜或PDMS改性石墨烯薄膜。

3.如权利要求2所述的一种超疏水表面的飞秒激光烧蚀-表面覆膜的复合加工方法，其特征在于，将低能态疏水薄膜覆于微纳阵列表面的方式为：将低能态疏水薄膜转移至复合材料样品表面上，然后将复合材料样品放入酒精中清洗，再用干燥的氮气吹干压实。

4.如权利要求2或3所述的一种超疏水表面的飞秒激光烧蚀-表面覆膜的复合加工方法，其特征在于，采用飞秒脉冲激光刻蚀基底材料样品表面，包括以下步骤：

步骤1-1.对基底材料进行抛光处理，保证基底材料样品初始粗糙程度一致；

步骤1-2.清洗基底材料样品；

步骤1-3.飞秒激光烧蚀基底材料样品表面；

通过飞秒脉冲激光刻蚀基底材料样品表面，然后采用无水乙醇对基底材料样品进行超声波清洗，得到具有微纳阵列表面的基底材料样品。

5.如权利要求2或3所述的一种超疏水表面的飞秒激光烧蚀-表面覆膜的复合加工方法，其特征在于，当低能态疏水薄膜为石墨烯薄膜时，采用化学气相沉积法制备石墨烯薄膜。

6.如权利要求2或3所述的一种超疏水表面的飞秒激光烧蚀-表面覆膜的复合加工方法，其特征在于，当低能态疏水薄膜为PDMS改性石墨烯薄膜时，制备PDMS改性石墨烯薄膜的方式为：将石墨烯薄膜与聚二甲基硅氧烷置于密闭容器内放入马弗炉中加热处理，得到具有超疏水性能的PDMS改性石墨烯薄膜。

7.如权利要求2所述的一种超疏水表面的飞秒激光烧蚀-表面覆膜的复合加工方法，其特征在于，步骤1-3中，飞秒脉冲激光刻蚀基底材料样品表面时，激光器设置参数为：扫描速度为0.5mm/s-0.8mm/s，扫描间距为50-100μm，激光脉冲偏振态为线偏振态，使用的脉冲能量为275μJ-325μJ。

8.如权利要求2所述的一种超疏水表面的飞秒激光烧蚀-表面覆膜的复合加工方法，其特征在于，所述低能态疏水薄膜的厚度为0.5-1mm。

9.如权利要求6所述的一种超疏水表面的飞秒激光烧蚀-表面覆膜的复合加工方法，其特征在于，所述石墨烯薄膜与聚二甲基硅氧烷的质量比为1:31.6-33.2混合；制备PDMS改性石墨烯薄膜的条件为：温度为200-250℃，反应时间为1-2小时。