[发明专利]主动隔振系统

说明书

本公开公开了一种主动隔振系统。主动隔振系统包括多台主动隔振装置，该主动隔振装置具有：将被支承体弹性地支承在基础上的螺旋弹簧；检测被支承体以及基础的振动状态的传感器；对被支承体施加控制力的致动器；控制器，其基于传感器已检测出的振动状态来控制致动器，以便对被支承体施加用于减轻被支承体的振动以及从基础传递到被支承体的振动的控制力。各隔振装置以支承被支承体的方式布置在基础上相互不同的位置。各隔振装置的控制器构成为：基于传感器已检测出的、被支承体及基础的与该布置位置对应的部分的振动状态，独立于其他隔振装置的控制器，单独地对被支承体的与该布置位置对应的部分施加控制力。因此能够以简单的结构来提升隔振性能。

技术领域

本公开涉及一种主动隔振系统。

背景技术

已知有一种主动隔振装置，其对被支承体施加减轻规定方向上的振动的控制力，主动隔振装置将被支承体弹性地支承在基础上。

例如，专利文献1所公开的主动隔振装置构成为：通过相对于铅垂轴倾斜地布置包括致动器和振动传感器的振动控制单元，而使致动器的驱动力相对于铅垂轴倾斜地作用于被支承体。

根据该结构，通过一个振动控制单元，能够抑制包括铅垂方向和水平方向的分量的振动，能够提升致动器的布置自由度。在现有的正交布置下因布置平衡较差而进行8点控制的，这样一来便能够进行6点控制。因此，能够简化主动隔振装置的结构，防止装置的庞大化、组装工时的增加或者制造成本的增加。

专利文献1：日本公开专利公报特开2012-47308号公报

发明内容

－发明要解决的技术问题－

但是，这种主动隔振装置一般采用将被支承体视为刚体的刚体模型，对整个被支承体进行单一的振动状态检测，根据已检测出的被支承体整体的振动状态来进行隔振控制。

然而，被支承体并非完全的刚体，因此被支承体的振动状态有因部位的不同而不同的情况。在基于被支承体整体的振动状态进行的上述控制方法中，尽管被支承体的振动状态按每个部位会有差异，但仍然一律地对整个被支承体进行单一的振动状态检测，因此难以发挥充分的隔振性能。基础的振动状态也一样。

本公开正是为解决上述问题而完成的。其主要目的在于：作为主动隔振系统以简单的结构来实现隔振性能的提升。

－用于解决技术问题的技术方案－

本公开所涉及的主动隔振系统包括多台主动隔振装置，该主动隔振装置具有弹性体、振动检测单元、致动器以及控制单元。所述弹性体将被支承体弹性地支承在基础上；所述振动检测单元检测所述被支承体及所述基础中的至少一者的包括铅垂方向及水平方向的至少三个平移方向的振动状态；所述致动器对所述被支承体施加控制力；所述控制单元基于所述振动检测单元已检测出的所述振动状态来控制所述致动器，以便对所述被支承体施加控制力，该控制力用于减轻所述被支承体的振动及从所述基础传递到所述被支承体的振动中的至少一者。各所述主动隔振装置以支承所述被支承体的方式布置在所述基础上相互不同的位置；所述控制单元构成为：基于所述振动检测单元已检测出的所述被支承体及所述基础中的至少一者的与该布置位置对应的部分的所述振动状态，独立于其他所述主动隔振装置的所述控制单元，单独地对所述被支承体的与所述布置位置对应的部分施加所述控制力。

根据该结构，能够基于主动隔振装置的每个不同布置位置的振动状态，来个别地进行隔振控制。因此，与基于被支承体整体或者基础整体的振动状态进行的控制方法相比，能够充分地发挥隔振性能。

由于仅通过多台主动隔振装置来支承被支承体即可，因此结构简单。

如上所述，主动隔振系统能够以简单的结构来实现隔振性能的提升。

在一个实施方式中，所述致动器以相对于所述基础倾斜的状态布置。