[发明专利]一种具有修饰层的CZTS薄膜太阳能电池背电极的制备方法

权利要求书

1.一种具有修饰层的CZTS薄膜太阳能电池背电极的制备方法，包括以下步骤：

S1、将Mo基底置于真空条件下，射频溅射ZnS，形成第一溅射层；

S2、将具有第一溅射层的Mo基底置于真空条件下，直流溅射Cu，在第一溅射层表面形成第二溅射层；

S3、在第二溅射层的表面旋涂CZTS前驱体溶胶；

S4、将步骤S3处理后的样品在S蒸气的气氛环境下进行退火处理，得到具有修饰层的CZTS薄膜太阳能电池背电极。

2.根据权利要求1所述的制备方法，其特征在于，所述修饰层中，Cu与Zn的原子数目之比为1.1～1.9。

3.根据权利要求1所述的制备方法，其特征在于，所述步骤S1中，射频溅射的功率为10～100W，射频溅射的气压为0.1～5Pa，射频溅射的时间为0.5～10s。

4.根据权利要求1所述的制备方法，其特征在于，所述步骤S2中，直流溅射的功率为10～100W，直流溅射的气压为0.1～5Pa，直流溅射的时间为0.5～10s。

5.根据权利要求1所述的制备方法，其特征在于，所述步骤S3中，CZTS前驱体溶胶的制备方法包括：将Cu盐、Zn盐和Sn盐溶解于溶剂I中，获得CZTS前驱体溶胶。

6.根据权利要求5所述的制备方法，其特征在于，所述溶剂I中，Cu盐的摩尔浓度为0.028～0.14mol/L，Zn盐的摩尔浓度为0.02～0.11mol/L，Sn盐的摩尔浓度为0.015～0.07mol/L。

7.根据权利要求6所述的制备方法，其特征在于，所述Cu盐、所述Zn盐和所述Sn盐的盐各自独立地选自氯化盐、硫酸盐、硝酸盐中的一种。

8.根据权利要求7所述的制备方法，其特征在于，所述溶剂I选自N,N-二甲基甲酰胺、乙二醇甲醚、1,4-丁内酯、乙二醇、甲醇、乙醇、二甘醇胺，乙醇胺、二乙醇胺、三乙醇胺、异丙醇胺、十八烯、乙二硫醇、1,3-丙硫醇和油胺中的一种或多种的组合。

9.根据权利要求5所述的制备方法，其特征在于，所述CZTS前驱体溶胶的制备方法还包括：向溶剂I中加入添加剂，所述添加剂选自单乙醇胺、二乙醇胺、三乙醇胺中的一种，添加剂与溶剂I的体积比为1:25～50。

10.根据权利要求1所述的制备方法，其特征在于，所述步骤S4中，退火处理的升温速率为5～30℃/min，退火处理的温度为400～600℃，退火处理的保温时间为10～60min，退火处理的降温速率为1～10℃/min。