[发明专利]抛光机下磨盘水冷机构在审
| 申请号： | 202111399408.7 | 申请日： | 2021-11-19 |
| 公开（公告）号： | CN114161318A | 公开（公告）日： | 2022-03-11 |
| 发明（设计）人： | 范镜;张得意;张彥志 | 申请（专利权）人： | 深圳赛贝尔自动化设备有限公司 |
| 主分类号： | B24B55/02 | 分类号： | B24B55/02;B24B29/00 |
| 代理公司： | 深圳市壹壹壹知识产权代理事务所(普通合伙) 44521 | 代理人： | 师勇 |
| 地址： | 518000 广东省深圳市光*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 抛光机 磨盘 水冷 机构 | ||
【权利要求书】：
1.一种抛光机下磨盘水冷机构，包括下底座以及下磨盘，其特征在于，还包括内轴管、外轴管、托盘、分水器、旋转接头，内轴管、外轴管的内部中空，内轴管设于外轴管中间；托盘上设有散热水道，分水器设于托盘中间，分水器连通散热水道的进水口和出水口；下磨盘设于托盘上；旋转接头包含一进一出2个通道；内轴管和外轴管的一端分别和旋转接头的2个通道连通，另一端分别连接分水器，通过分水器分别连通散热水道的进水口和出水口。
2.如权利要求1所述的抛光机下磨盘水冷机构，其特征在于，所述托盘上的散热水道有多条，均通过分水器连通内轴管和外轴管。
3.如权利要求1所述的抛光机下磨盘水冷机构，其特征在于，旋转接头的出水通量小于等于进水通量。
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