[发明专利]激光成丝切割装置

权利要求书

1.一种激光成丝切割装置，其特征在于，包括沿光路方向依次设置的轴棱锥镜、长焦距透镜、振镜组件和场镜；

所述轴棱锥镜用于将准直光束转化为贝塞尔光束，所述贝塞尔光束经所述长焦距透镜照射在所述振镜组件上，所述振镜组件用于控制所述贝塞尔光束偏转，所述场镜用于将所述贝塞尔光束的干涉线聚焦于工件上。

2.根据权利要求1所述的激光成丝切割装置，其特征在于，所述长焦距透镜位于所述轴棱锥镜的贝塞尔焦深末端，所述长焦距透镜的聚焦点位于所述振镜组件和场镜之间。

3.根据权利要求1所述的激光成丝切割装置，其特征在于，所述振镜组件包括使所述贝塞尔光束在第一平面内偏转的第一振镜，以及使所述贝塞尔光束在第二平面内偏转的第二振镜，所述第二平面与所述第一平面垂直。

4.根据权利要求1所述的激光成丝切割装置，其特征在于，所述激光成丝切割装置还包括激光发生器和扩束镜，所述激光发生器发射的激光经所述扩束器射入所述轴棱锥镜。

5.根据权利要求4所述的激光成丝切割装置，其特征在于，所述激光发生器发出的激光束包括高斯光束、平顶光束或多模光束，所述激光发生器产生的激光包括紫外光、红外光或绿光。

6.根据权利要求1所述的激光成丝切割装置，其特征在于，所述轴棱锥镜的锥角α＜30°。

7.根据权利要求1所述的激光成丝切割装置，其特征在于，入射到所述轴棱锥镜的激光束的光斑直径小于8mm。

8.根据权利要求1所述的激光成丝切割装置，其特征在于，所述场镜包括平场聚焦透镜，所述场镜的焦距大于80mm。

9.根据权利要求1所述的激光成丝切割装置，其特征在于，所述激光成丝切割装置还包括镀于所述轴棱锥镜表面的激光增透膜。