[发明专利]振动器件

权利要求书

1.一种振动器件，其特征在于，其包含：

基座，其包含半导体基板以及贯通电极，该半导体基板具有第1面和与所述第1面处于正反关系的第2面，该贯通电极贯通所述第1面与所述第2面之间；

振动元件，其配置于所述第1面侧；以及

外部连接端子，其隔着绝缘层设置于所述第2面侧，

在所述第2面配置有：

振荡电路，其经由所述贯通电极与所述振动元件电连接，使所述振动元件振荡而生成振荡信号；以及

输出缓冲电路，其输出基于所述振荡信号的时钟信号，

从所述外部连接端子输出来自所述输出缓冲电路的所述时钟信号，

所述贯通电极和所述外部连接端子被配置成在从与所述第1面正交的方向俯视时不重叠。

2.根据权利要求1所述的振动器件，其特征在于，

所述基座具有第1边和与所述第1边对置的第2边，

在所述俯视时，所述贯通电极配置于相比于所述第2边更接近所述第1边的位置，

在所述俯视时，所述外部连接端子配置于相比于所述第1边更接近所述第2边的位置。

3.根据权利要求2所述的振动器件，其特征在于，

在所述第2面配置有与所述贯通电极电连接的贯通电极用的接触盘，

在所述俯视时，所述贯通电极用的接触盘配置于相比于所述第2边更接近所述第1边的位置。

4.根据权利要求3所述的振动器件，其特征在于，

在所述第2面配置有使所述贯通电极用的接触盘和所述振荡电路电连接的布线，

在所述俯视时，所述布线配置于相比于所述第2边更接近所述第1边的位置。

5.根据权利要求1或2所述的振动器件，其特征在于，

在所述第2面配置有输出所述时钟信号的时钟信号输出用的接触盘，

所述时钟信号输出用的接触盘和所述外部连接端子经由所述绝缘层电连接。

6.根据权利要求5所述的振动器件，其特征在于，

所述外部连接端子的面积比所述时钟信号输出用的接触盘的面积大。

7.根据权利要求5所述的振动器件，其特征在于，

所述时钟信号输出用的接触盘和所述外部连接端子被配置成在所述俯视时重叠。

8.根据权利要求2所述的振动器件，其特征在于，

在所述俯视时，所述振荡电路配置于相比于所述第2边更接近所述第1边的位置。

9.根据权利要求2所述的振动器件，其特征在于，

在所述俯视时，所述输出缓冲电路配置于相比于所述第1边更接近所述第2边的位置。

10.根据权利要求1或2所述的振动器件，其特征在于，

所述振动器件包含隔着所述绝缘层设置在所述第2面侧的恒定电位信号用的外部连接端子，

在所述俯视时，所述贯通电极被配置成与所述恒定电位信号用的外部连接端子重叠。

11.根据权利要求1或2所述的振动器件，其特征在于，

所述振动器件包含盖，所述盖以收纳所述振动元件的方式与所述基座接合。