[发明专利]一种用于化学机械研磨设备的研磨头

权利要求书

1.一种用于化学机械研磨设备的研磨头，其特征在于，包括：

研磨头本体，所述研磨头本体的下表面边缘处设置有环形腔，所述环形腔由所述研磨头本体的下表面向上或向下延伸；所述研磨头本体设置有通孔，所述通孔具有出口端和入口端，入口端面位于所述研磨头本体的上表面；

环形气囊，所述环形气囊设置在所述环形腔内，所述环形气囊的顶部与所述环形腔连接，并且所述环形气囊设置有环形开口，所述环形开口与所述通孔的出口端连通；

隔膜，设置在所述研磨头本体的下表面；

挡圈，套设在所述隔膜的外围；以及

整理环，所述整理环套设在所述挡圈的外围，并且所述整理环的顶部与所述环形气囊的底部连接，所述整理环的下表面镶嵌有整理结构。

2.根据权利要求1所述的研磨头，其特征在于，所述环形腔的顶部设置有环形卡具，所述环形卡具设置有通气口，所述通气口与所述通孔和所述环形气囊连通；所述环形卡具的横截面呈倒T形，其顶部与所述研磨头本体连接，其底部设置在所述环形开口的下方，并且底部宽度大于所述环形开口的宽度；

所述环形气囊通过所述环形开口套箍在所述环形卡具上，使得所述环形气囊的顶部与所述环形腔连接。

3.根据权利要求1或2所述的研磨头，其特征在于，所述环形腔由所述研磨头本体的下表面向上延伸，所述环形腔为开设在所述研磨头本体的下表面边缘处的环形凹槽。

4.根据权利要求1或2所述的研磨头，其特征在于，所述环形腔由所述研磨头本体的下表面向下延伸，所述环形腔的两个侧壁为两个环形隔板，两个所述环形隔板均与所述研磨头本体的下表面连接。

5.根据权利要求1或2所述的研磨头，其特征在于，还包括：

压力控制结构，所述压力控制结构与所述通孔直接或间接连通，用于控制所述环形气囊中的压力。

6.根据权利要求1或2所述的研磨头，其特征在于，所述研磨头本体设置有1个所述通孔，所述环形卡具设置有1个通气口。

7.根据权利要求1或2所述的研磨头，其特征在于，还包括：

传输管道，所述传输管道具有输入端和输出端，所述输出端与所述通孔连通，并且所述传输管道从所述输出端开始经由所述通孔向上延伸。

8.根据权利要求7所述的研磨头，其特征在于，还包括：

驱动轴，所述驱动轴设置有通道，所述通道具有流入端和流出端，流入端面位于所述驱动轴的上表面，所述流出端与所述传输管道的输入端连通。

9.根据权利要求1或2所述的研磨头，其特征在于，所述整理结构为钻石。

10.一种化学机械研磨设备，其特征在于，包括权利要求1-9中任一项所述的研磨头。