[发明专利]版图图形的透过率赋值方法、装置、设备和存储介质

说明书

本申请公开了一种版图图形的透过率赋值方法、装置、设备和存储介质，该方法包括：对目标图形的顶点构成的点阵进行剖分得到至少两个三角形，目标图形是版图图形中需要进行透过率赋值的图形，三角形由三个顶点构成，任一三角形的外接圆的区域内不包含其它的顶点；根据三角形的重心确定三角形中的第一类三角形和第二类三角形，第一类三角形是在目标图形所在的区域内的三角形，第二类三角形是在目标图形所在的区域外的三角形；根据三角形所属的类型对目标图形进行透过率赋值。本申请通过对目标图形的顶点剖分得到的三角形的重心判断其是否是位于目标图形所在的区域内，从而分别对位于目标图形内外的三角形进行透过率赋值，提高了赋值的准确率。

技术领域

本申请涉及半导体制造技术领域，具体涉及一种版图图形的透过率赋值方法、装置、设备和存储介质。

背景技术

在半导体制造业中，集成电路版图的数据通常存储为GDSII文件，GDSII文件中，版图图形的形状数据通常包含图形所包含的多边形的顶点信息。

参考图1，其示出了相关技术中提供的一个集成电路版图的局部示意图，如图1所示，该版图包括图形100，其具有四个顶点a1、b1、c1、d1，其对应的GDSII文件包括{[a1,b1,c1,d1,a1]}{[(0,0),(1,0),(1,10),(10,0),(0,0)]}，即，GDSII文件中，图形的形状特征是绕封闭图形一周顺次的顶点信息(顶点以及其对应的坐标)，且首位相接。

在光刻仿真过程中，需要根据版图数据对仿真的二维网格进行透过率赋值(又被称为版图数据的“光栅化”)，即根据版图数据得到图形的二维网格，对该二维网格中每个格点的透过率进行赋值。

然而，由于在GDSII文件中，图形的形状是其所包含的多边形的顶点信息，因此难以通过顶点信息判断顶点所围绕的局部图形是在图形内还是在图形外，从而降低了仿真的准确度。

发明内容

本申请提供了一种版图图形的透过率赋值方法、装置、设备和存储介质，可以解决相关技术中提供的版图图形的透过率赋值方法仿真的准确度较低的问题。

一方面，本申请实施例提供了一种版图图形的透过率赋值方法，包括：

对目标图形的顶点构成的点阵进行剖分得到至少两个三角形，所述目标图形是所述版图图形中需要进行透过率赋值的图形，所述三角形由三个所述顶点构成，任一三角形的外接圆的区域内不包含其它的顶点；

根据所述三角形的重心确定所述三角形中的第一类三角形和第二类三角形，所述第一类三角形是在所述目标图形所在的区域内的三角形，所述第二类三角形是在所述目标图形所在的区域外的三角形；

根据所述三角形所属的类型对所述目标图形进行透过率赋值。

可选的，所述根据所述三角形的重心确定所述三角形中的第一类三角形和第二类三角形，包括：

对于任一重心，计算所述重心与每个所述顶点中任意两个连续的顶点构成的矢量角度；

对所述矢量角度进行矢量求和，得到所述重心的矢量角度和；

当所述矢量角度和为零时，确定所述重心对应的三角形为所述第二类三角形。

可选的，还包括：

当所述矢量角度和不为零时，确定所述重心对应的三角形为所述第一类三角形。

可选的，所述对目标图形的顶点构成的点阵进行剖分得到至少两个三角形，包括：

对所述点阵通过Delaunay三角剖分算法进行所述剖分得到所述三角形。

可选的，所述根据所述三角形所属的类型对所述目标图形进行透过率赋值，包括：

根据预设的精度生成所述目标图形所在图层的二维网格；