[发明专利]一种干膜抗蚀剂层压体、树脂组合物及其制备方法

权利要求书

1.一种干膜抗蚀剂层压体，其特征在于，所述层压体包括抗蚀剂层、位于抗蚀剂层一侧的支撑层和位于抗蚀剂层另一侧的保护层，所述抗蚀剂层具有朝向所述保护层的第一面以及与所述第一面相对的第二面；所述抗蚀剂层为预交联抗蚀剂层，所述第一面的预交联度小于所述第二面的预交联度。

2.根据权利要求1所述的一种干膜抗蚀剂层压体，其特征在于，所述抗蚀剂层自所述第一面向所述第二面的延伸方向上预交联度递增。

3.根据权利要求1所述的一种干膜抗蚀剂层压体，其特征在于，所述抗蚀剂层的预交联度不大于20%。

4.根据权利要求3所述的一种干膜抗蚀剂层压体，其特征在于，所述抗蚀剂层预交联度为0-5%的部分为低预交联度部分，预交联度为5%-20%的部分为高预交联度部分；所述低预交联度部分的厚度为所述抗蚀剂层厚度的50%-90%，所述高预交联度部分的厚度为所述抗蚀剂层厚度的10%-50%。

5.根据权利要求4所述的一种干膜抗蚀剂层压体，其特征在于，所述低预交联度部分的厚度为所述预交联抗蚀剂层厚度的70%-90%，所述高预交联度部分的厚度为所述预交联抗蚀剂层厚度的10%-30%。

6.根据权利要求1所述的一种干膜抗蚀剂层压体，其特征在于，所述抗蚀剂层为单层结构或多层结构。

7.根据权利要求1所述的一种干膜抗蚀剂层压体，其特征在于，所述抗蚀剂层的厚度为15-60μm。

8.一种树脂组合物，其特征在于，如权利要求1-7任一项所述的一种干膜抗蚀剂层压体的抗蚀剂层由所述树脂组合物制得，所述树脂组合物包括以下组分：30-70质量份的碱溶性树脂、30-50质量份的烯属光聚合性不饱和单体、0.1-5质量份的引发剂和0.1-5质量份的添加剂。

9.如权利要求1-7任一项所述的一种干膜抗蚀剂层压体的制备方法，其特征在于，包括步骤：

（1）将所述抗蚀剂层的所有组分溶解于有机溶剂中分散均匀，形成固含量为35%-50%的混合物；

（2）提供一支撑层，在所述支撑层一侧涂布所述混合物后进行干燥处理，得到抗蚀剂预备层；

（3）自支撑层一侧或/和远离支撑层的一侧对所述抗蚀剂预备层采取交联处理，得到抗蚀剂层；

（4）在所述抗蚀剂层远离支撑层的一侧附上保护层，得到所述干膜抗蚀剂层压体；

或者，

（1）将所述抗蚀剂层的所有组分溶解于有机溶剂中分散均匀，形成固含量为35%-50%的混合物；

（2）提供一支撑层，在所述支撑层一侧涂布所述混合物后进行干燥处理，得到抗蚀剂预备层；

（3）在所述抗蚀剂预备层远离支撑层的一侧附上保护层，得到层压体预备体；

（4）自支撑层一侧或/和远离支撑层的一侧对所述层压体预备体采取交联处理，得到所述干膜抗蚀剂层压体。

10.根据权利要求9所述的一种干膜18抗蚀剂层压体的制备方法，其特征在于，所述交联处理的方式包括激光交联和紫外交联。

11.根据权利要求10所述的一种干膜抗蚀剂层压体的制备方法，其特征在于，所述交联处理的能量为0.1-18mJ。