[发明专利]空间光束偏移校正装置及方法在审
申请号: | 202111411628.7 | 申请日: | 2021-11-23 |
公开(公告)号: | CN114114582A | 公开(公告)日: | 2022-03-01 |
发明(设计)人: | 崔成君;王国名;董登峰;张滋黎;周维虎;王宇;潘映伶;孟繁昌;冯天赐 | 申请(专利权)人: | 中国科学院微电子研究所 |
主分类号: | G02B7/00 | 分类号: | G02B7/00;G02B26/08 |
代理公司: | 中科专利商标代理有限责任公司 11021 | 代理人: | 樊晓 |
地址: | 100029 *** | 国省代码: | 北京;11 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 空间 光束 偏移 校正 装置 方法 | ||
1.一种空间光束偏移校正装置,包括:
沿光束传播方向依次设置的双光楔安装筒(504)和双斜平板安装筒(511),所述双光楔安装筒(504)和所述双斜平板安装筒(511)的中心轴线与理想光轴(514)重合;
第一光楔(502)和第二光楔(506),分别安装于所述双光楔安装筒(504)内并可绕理想光轴(514)进行旋转,入射光束(11)依次经所述第一光楔(502)和所述第二光楔(506)调节后形成平行于所述理想光轴(514)的调整光束(11′);以及
第一斜平板(509)和第二斜平板(513),分别安装于所述双斜平板安装筒(511)内并可绕理想光轴进行旋转,所述调整光束(11′)依次经所述第一斜平板(509)和所述第二斜平板(513)调节后形成重合于所述理想光轴(514)的出射光束(12)。
2.根据权利要求1所述的空间光束偏移校正装置,还包括:
第一光楔固定座(501)和第二光楔固定座(507),分别可转动地安装于所述双光楔安装筒(504)内,所述第一光楔(502)和第二光楔(506)分别安装在所述第一光楔固定座(501)和第二光楔固定座(507)上;以及
第一斜平板固定座(508)和第二斜平板固定座(515),可转动地安装在所述双斜平板安装筒(511)上,所述第一斜平板(509)和第二斜平板(513)分别安装于所述第一斜平板固定座(508)和第二斜平板固定座(515)内。
3.根据权利要求2所述的空间光束偏移校正装置,还包括:
第一光楔紧固圈(503)和第二光楔紧固圈(505),分别设置于所述第一光楔固定座(501)和所述双光楔安装筒(504)之间、第二光楔固定座(507)和所述第一安装筒(504)之间;以及
第一斜平板紧固圈(510)和第二斜平板紧固圈(512),分别设置于所述第一斜平板固定座(508)和所述双斜平板安装筒(511)之间、所述第二斜平板固定座(515)和所述双斜平板安装筒(511)之间。
4.根据权利要求3所述的空间光束偏移校正装置,还包括:
两个第一锁紧机构(517),分别适用于紧固和释放所述第一紧固圈(503)和所述第二紧固圈(505);以及
两个第二锁紧机构(516),分别适用于紧固和释放所述第三紧固圈(510)和所述第四紧固圈(512)。
5.根据权利要求4所述的空间光束偏移校正装置,其中,
每个第一锁紧机构(517)包括形成在所述双光楔安装筒(504)上的第一螺纹孔、以及与所述第一螺纹孔配合的第一螺栓,通过转动所述第一螺栓驱动所述第一光楔紧固圈(503)或所述第二光楔紧固圈(505)抱紧或者释放所述第一光楔固定座(501)或所述第二光楔固定座(507);
每个第二锁紧机构(516)包括形成在所述双斜平板安装筒(511)上的第二螺纹孔、以及与所述第二螺纹孔配合的第二螺栓,通过转动所述第二螺栓驱动所述第一斜平板紧固圈(510)或所述第二斜平板紧固圈(512)抱紧或者释放所述第一斜平板固定座(508)或所述第二斜平板固定座(515)。
6.根据权利要求1-5中的任一项所述的空间光束偏移校正装置,其中,
所述第一光楔(502)和所述第二光楔(506)呈圆柱形结构,选用材质的折射率、楔角及尺寸相同,
其中,所述第一光楔(502)的输入面和所述第二光楔(506)的输出面垂直于所述理想光轴(514),所述第一光楔(502)和所述第二光楔(506)的面对的楔形面相对于所述理想光轴(514)倾斜。
7.根据权利要求1-5中的任一项所述的空间光束偏移校正装置,其中,
所述第一斜平板(509)和所述第二斜平板(513)呈圆柱形结构,选用材质的折射率、倾斜角及尺寸相同,
所述第一斜平板(509)和所述第二斜平板(513)的径向表面都相对于所述理想光轴(514)倾斜。
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