[发明专利]曲面盖板玻璃镀膜设备及镀膜方法在审

专利信息
申请号: 202111412367.0 申请日: 2021-11-25
公开(公告)号: CN113968678A 公开(公告)日: 2022-01-25
发明(设计)人: 李卓诚;张坤;胡迪 申请(专利权)人: 芜湖长信新型显示器件有限公司
主分类号: C03C17/00 分类号: C03C17/00
代理公司: 芜湖安汇知识产权代理有限公司 34107 代理人: 王惠萍
地址: 241000 安徽省芜湖市中国(安徽*** 国省代码: 安徽;34
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摘要:
搜索关键词: 曲面 盖板 玻璃 镀膜 设备 方法
【权利要求书】:

1.曲面盖板玻璃镀膜设备,包括靶材,其特征在于,还包括可旋转设置且用于放置曲面盖板玻璃的定位装置和用于调节有效镀膜线程的遮挡装置,遮挡装置位于靶材和曲面盖板玻璃之间。

2.根据权利要求1所述的曲面盖板玻璃镀膜设备,其特征在于,所述遮挡装置包括遮挡板,遮挡板设置多个且所有遮挡板为沿竖直方向依次布置,遮挡板为沿水平方向可移动设置。

3.根据权利要求1或2所述的曲面盖板玻璃镀膜设备,其特征在于,所述定位装置包括转架和设置于转架上且用于放置曲面盖板玻璃的载板,转架为可旋转设置。

4.曲面盖板玻璃镀膜方法,其特征在于,采用权利要求1至3任一所述的曲面盖板玻璃镀膜设备,通过所述遮挡装置调节有效镀膜线程,间接控制曲面盖板玻璃的实际有效镀膜时间。

5.根据权利要求4所述的曲面盖板玻璃镀膜方法,其特征在于,在镀膜过程中,通过膜厚仪监控有效镀膜时间。

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