[发明专利]一种晶圆干燥系统和晶圆干燥方法

权利要求书

1.一种晶圆干燥系统，其特征在于，包括：

旋转式双面梯度干燥装置；所述旋转式双面干燥装置包括：

旋转卡盘，适于从侧部固定晶圆进行水平旋转；

梯度干燥组件，所述梯度干燥组件包括上部组件和下部组件，所述旋转卡盘位于所述上部组件和所述下部组件之间；所述梯度干燥组件适于在所述晶圆水平旋转时，从上下两侧同时对所述晶圆进行梯度干燥。

2.根据权利要求1所述的晶圆干燥系统，其特征在于，

所述上部组件包括：移动导轨、加热头、吹扫气体喷嘴和导流液喷嘴，所述上部组件的加热头、吹扫气体喷嘴和导流液喷嘴可移动的安装在所述上部组件的移动导轨上，适于沿所述移动导轨移动；

所述下部组件包括：移动导轨、加热头、吹扫气体喷嘴和导流液喷嘴，所述下部组件的加热头、吹扫气体喷嘴和导流液喷嘴可移动的安装在所述下部组件的移动导轨上，适于沿所述移动导轨移动。

3.据权利要求2所述的晶圆干燥系统，其特征在于，

所述上部组件中的加热头、导流液喷嘴和吹扫气体喷嘴在所述上部组件的导轨上的位置排序与所述下部组件中的加热头、导流液喷嘴和吹扫气体喷嘴在所述下部组件的移动导轨上的位置排序相同。

4.据权利要求2所述的晶圆干燥系统，其特征在于，

所述下部组件通过支撑柱固定于底座上；

所述支撑柱上套设有中央镂空的环形旋转机构，所述旋转卡盘连接固定于所述环形旋转机构，所述环形旋转机构适于环绕所述支撑柱水平旋转。

5.据权利要求4所述的晶圆干燥系统，其特征在于，所述晶圆干燥系统还包括：

气液供给装置，所述气液供给装置通过上输送管路连通所述上部组件中的吹扫气体喷嘴和导流液喷嘴；所述气液供给装置通过下输送管路连通所述下部组件中的吹扫气体喷嘴和导流液喷嘴。

6.据权利要求5所述的晶圆干燥系统，其特征在于，

所述支撑柱中具有中空通道，所述下输送管路穿过所述中空通道连通至所述下部组件中的吹扫气体喷嘴和导流液喷嘴。

7.据权利要求5所述的晶圆干燥系统，其特征在于，

所述气液供给装置包括气源、气体加热装置、液源和液体冷却装置；所述气源通过所述上输送管路和所述下输送管路分别连通所述上部组件的吹扫气体喷嘴和所述下部组件吹扫气体喷嘴，所述气体加热装置适于对气源输送出的吹扫气体进行加热；所述液源通过所述上输送管路和所述下输送管路分别连通所述上部组件的吹扫气体喷嘴和所述下部组件的吹扫气体喷嘴，所述液体冷却装置适于对所述液源输送出的导流液进行冷却。

8.一种晶圆干燥方法，其特征在于，使用如权利要求1-7中任一项所述的晶圆干燥系统，对所述晶圆上下两侧进行同步的旋转梯度干燥；

其中，所述旋转卡盘固定所述晶圆进行水平旋转；所述梯度干燥组件自所述晶圆的中心向所述晶圆的边缘进行梯度干燥。

9.根据权利要求8所述的晶圆干燥方法，其特征在于，所述梯度干燥的步骤包括：

所述梯度干燥组件向所述晶圆表面铺设导流液，所述导流液在晶圆旋转时产生的离心力作用下铺满晶圆表面形成导流液膜；

所述梯度干燥组件向所述晶圆表面喷射吹扫气体，自所述晶圆的中心向所述晶圆的边缘吹扫所述导流液膜；

所述梯度干燥组件自所述晶圆的中心向所述晶圆的边缘移动加热所述导流液膜，使所述导流液膜自所述晶圆中心处向所述晶圆的边缘处形成热量梯度；

所述导流液膜在热量梯度、气体吹扫和晶圆水平旋转的作用下逐步脱离所述晶圆的表面；

依次停止导流液铺设、气体吹扫和加热，加速晶圆旋转，以进行残余导流液膜的离心干燥。

10.根据权利要求9所述的晶圆干燥方法，其特征在于，

所述导流液为水，所述吹扫气体为氮气。