[发明专利]干膜抗蚀剂及其制备方法

权利要求书

1.一种干膜抗蚀剂，所述干膜抗蚀剂包括支撑层和抗蚀剂层，形成所述抗蚀剂层的原料包括碱溶性树脂、可光聚合单体和光引发剂，其特征在于，所述抗蚀剂层为预交联层，所述抗蚀剂层的交联度为2％～15％。

2.根据权利要求1所述的干膜抗蚀剂，其特征在于，所述抗蚀剂层的交联度为3％～10％；优选所述碱溶性树脂的酸值范围为90～200mg KOH/g。

3.根据权利要求1所述的干膜抗蚀剂，其特征在于，所述碱溶性树脂的重均分子量为50000～200000，优选为70000～150000。

4.根据权利要求1所述的干膜抗蚀剂，其特征在于，所述碱溶性树脂由一种或多种含羧基的第一共聚单元单体与一种或多种不含羧基基团的第二共聚单元单体共聚，所述第二共聚单元单体选自(甲基)丙烯酸甲酯、(甲基)丙烯酸乙酯、(甲基)丙烯酸丙酯、(甲基)丙烯酸异丙酯、(甲基)丙烯酸正丁酯、(甲基)丙烯酸异丁酯、(甲基)丙烯酸异辛酯、(甲基)丙烯酸月桂酯、(甲基)丙烯酸十八酯、(甲基)丙烯酸-2-羟基乙酯、(甲基)丙烯酸-2-羟基丙酯、(甲基)丙烯酸-4-羟基丁酯、聚乙二醇单(甲基)丙烯酸酯、聚丙二醇单(甲基)丙烯酸酯、(甲基)丙烯腈、(甲基)丙烯酸缩水甘油酯、N,N-二甲基(甲基)丙烯酸乙酯、N,N-二乙基(甲基)丙烯酸乙酯、N,N-二甲基(甲基)丙烯酸丙酯、N,N-二乙基(甲基)丙烯酸丙酯、N,N-二甲基(甲基)丙烯酸丁酯、N,N-二乙基(甲基)丙烯酸丁酯、(甲基)丙烯酰胺、N-羟甲基-丙烯酰胺、N-丁氧基甲基-丙烯酰胺、苯乙烯、(甲基)丙烯酸苄酯、苯氧基乙基(甲基)丙烯酸酯、(烷氧基化)壬基苯酚(甲基)丙烯酸酯中的任意一种或多种，优选所述第一共聚单元单体选自衣康酸、巴豆酸、丙烯酸、甲基丙烯酸、马来酸半酯、顺丁烯二酸、反丁烯二酸、乙烯基乙酸及其酸酐中的任意一种或多种。

5.根据权利要求1所述的干膜抗蚀剂，其特征在于，所述可光聚合单体选自丙烯酸月桂酯、丙烯酸异癸酯、丙烯酸四氢呋喃甲酯、双酚A二(甲基)丙烯酸酯、乙氧化(丙氧化)双酚A二(甲基)丙烯酸酯、聚乙(丙)二醇二丙烯酸酯、乙氧化(丙氧化)新戊二醇二丙烯酸酯、三羟甲基丙烷三丙烯酸酯、乙氧化(丙氧化)三羟甲基丙烷三丙烯酸酯、三(2-羟乙基)异氰尿酸三丙烯酸酯、季戊四醇三丙烯酸酯、季戊四醇四丙烯酸酯、二季戊四醇四丙烯酸酯中的任意一种或多种。

6.根据权利要求1所述的干膜抗蚀剂，其特征在于，所述光引发剂选自安息香醚、二苯甲酮及其衍生物、硫杂蒽酮类化合物、蒽醌及其衍生物、噻吨酮类化合物、六芳基双咪唑类化合物、吖啶类化合物中的一种或多种按照任意配比的组合，优选所述光引发剂选自安息香醚、二苯甲酮、硫杂蒽酮、蒽醌、2-苄基-2-二甲基氨基-1-(4-吗啉基苯基)-丁酮、2-乙基蒽醌、菲醌、2-叔丁基蒽醌、八甲基蒽醌、1,2-苯并蒽醌、2,3-苯并蒽醌、2,3-二苯基蒽醌、1-氯蒽醌、2-甲基蒽醌、1,4-萘醌、9,10-菲醌、2,3-二甲基蒽醌、安息香甲醚、安息香乙醚、安息香苯基醚、苯偶酰二甲基缩酮、苯偶姻双甲醚、苯偶姻乙醚、苯偶姻丙基醚、苯偶姻苯基醚、噻吨酮、2-氯噻吨酮、4-氯噻吨酮、2-异丙基噻吨酮、4-异丙基噻吨酮、二苯甲酮、4,4’-双(二甲氨基)二苯甲酮(米氏酮)、4,4’-双(二乙氨基)二苯甲酮、异丙基硫杂蒽酮、2-氯硫杂蒽酮、2,4-二乙基硫杂蒽酮、2-叔丁基蒽醌、N,N-二甲基苯甲酸乙酯、苯甲酸二甲氨基乙酯、N,N-二甲基乙醇胺、2,2’-双(2-氯苯基)-4,4’,5,5’-四苯基-1,2’-二咪唑、2,2’-双(2-溴-5-甲氧基苯)-4,4’,5,5’-四苯基二咪唑、2,2’-双(2,4-二氯苯基)-4,4’,5,5’-四苯基二咪唑、9-苯基吖啶、9-对苯基吖啶、9-间甲苯基吖啶、9-邻甲苯基吖啶、9-对氯苯基吖啶、1,7-二(9-吖啶基)庚烷中的任意一种。