[发明专利]一种高纯铝旋转靶的冷等静压绑定的方法

权利要求书

1.一种高纯铝旋转靶的冷等静压绑定的方法，其特征在于，所述方法包括以下步骤：

(1)不锈钢管表面加工出螺纹，高纯铝管与不锈钢管进行装配，其中不锈钢管在高纯铝管内部，不锈钢管和高纯铝管之间预留缝隙；

(2)所述装配后的高纯铝管与不锈钢管经不锈钢圆环焊接对两端进行密封；

(3)所述密封后的高纯铝管与不锈钢管进行脱气；

(4)所述脱气后的高纯铝管与不锈钢管置于塑料胶套中，塑料胶套密封并进行冷等静压处理，得到处理后的高纯铝管与不锈钢；

步骤(4)中所述冷等静压处理包括三段加压-保压过程；

所述三段加压-保压过程中一段加压的终点压力为75-85MPa；

所述三段加压-保压过程中一段保压的时间为4-6min；

所述三段加压-保压过程中二段加压的终点压力为150-170MPa；

所述三段加压-保压过程中二段保压的时间为8-12min；

所述三段加压-保压过程中三段加压的终点压力为180-200MPa；

所述三段加压-保压过程中三段保压的时间为10-20min。

2.根据权利要求1所述的方法，其特征在于，步骤(1)中所述高纯铝管由高纯铝锭加工得到。

3.根据权利要求2所述的方法，其特征在于，所述高纯铝锭中铝含量为99.9985-99.9995wt％。

4.根据权利要求2所述的方法，其特征在于，所述高纯铝管的管壁厚度为6-8mm。

5.根据权利要求2所述的方法，其特征在于，所述高纯铝锭加工包括高纯铝锭经锻打、挤压、镗孔、校直和镗孔，得到所述高纯铝管。

6.根据权利要求1所述的方法，其特征在于，所述不锈钢管的表面螺纹的深度为0.49-0.51mm。

7.根据权利要求6所述的方法，其特征在于，所述不锈钢管的表面螺纹的长度为0.8-1.2mm。

8.根据权利要求7所述的方法，其特征在于，所述不锈钢管的管壁厚度为5-7mm。

9.根据权利要求1所述的方法，其特征在于，所述不锈钢管和高纯铝管之间缝隙的宽度为0.49-0.51mm。

10.根据权利要求1所述的方法，其特征在于，步骤(2)中所述装配前清洁不锈钢管和高纯铝管。

11.根据权利要求10所述的方法，其特征在于，所述清洁的区域包括不锈钢管和高纯铝管的内外表面。

12.根据权利要求10所述的方法，其特征在于，所述清洁的清洁剂包括乙醇和/或丙酮。

13.根据权利要求1所述的方法，其特征在于，步骤(2)中所述不锈钢圆环的外径和高纯铝管的外径一致。

14.根据权利要求13所述的方法，其特征在于，所述不锈钢圆环的内径和不锈钢管的内径一致。

15.根据权利要求1所述的方法，其特征在于，所述密封包括每一端使用一个所述不锈钢圆环进行密封。

16.根据权利要求1所述的方法，其特征在于，所述焊接的方式包括氩弧焊。

17.根据权利要求1所述的方法，其特征在于，步骤(2)中两端中任一端的所述不锈钢圆环上打孔。

18.根据权利要求17所述的方法，其特征在于，所述不锈钢圆环上的孔的直径为4.9-5.1mm。