[发明专利]一种体散射光学材料表面微缺陷检测装置及其检测方法

权利要求书

1.一种体散射光学材料表面微缺陷检测装置，其特征在于，包括：

光源发射器(1)，用于发射照明光源；

支架(6)，用于安装所述光源发射器(1)，所述支架(6)倾斜角度可调；

起偏器(2)，设于相对靠近所述支架(6)的较低侧；

样品托架(4)，设于所述起偏器(2)相对远离所述支架(6)侧，用于放置样品；

显微镜(5)，设于所述样品托架(4)的正上方。

2.根据权利要求1所述的体散射光学材料表面微缺陷检测装置，其特征在于：所述样品托架(4)包括：

托台(7)，用于放置样品；

所述托台(7)具有用于托载所述样品的托载面(9)；

所述托载面(9)的中部内凹形成有路径空间；

所述托载面(9)的边缘内凹形成有导光槽(8)；

透过所述样品的透射光线经过所述路径空间后从所述导光槽(8)射出。

3.根据权利要求1所述的体散射光学材料表面微缺陷检测装置，其特征在于：在所述起偏器(2)相对靠近所述样品托架(4)侧设有光强衰减片(3)，用于调节光的强度。

4.一种权利要求1-3所述的体散射光学材料表面微缺陷检测装置的检测方法，其特征在于，包括以下步骤：

搭建所述体散射光学材料表面微缺陷检测装置，设置所述样品托架(4)、光强衰减片(3)、起偏器(2)、支架(6)及光源发射器(1)；

固定样品于所述样品托架(4)上；

启动所述光源发射器(1)发射照射光源；

调节所述起偏器(2)，使得所述照明光源保持特定偏振模式；

计算所述样品在所述特定偏振模式下的反射率特性；

获得所述样品的反射率与透射率比值随入射角度变化的曲线；

设定所述反射率与透射率比值的参考值；

获得所述参考值对应的初始入射角；

调节所述支架(6)，使得所述照射光源的入射角为所述初始入射角；

微调所述初始入射角；

调节所述光强衰减片(3)，使观测效果清晰；

微调所述样品，进一步观察所述样品表面的多个所述微缺陷。

5.根据权利要求4所述的体散射光学材料表面微缺陷检测装置的检测方法，其特征在于：所述特定偏振模式为S偏振模式。

6.根据权利要求5所述的体散射光学材料表面微缺陷检测装置的检测方法，其特征在于：所述样品的反射率由以下公式得出：

其中，r_s为所述样品在所述S偏振模式下的反射系数。

7.根据权利要求6所述的体散射光学材料表面微缺陷检测装置的检测方法，其特征在于：所述反射系数由以下公式得出：

其中，θ₀、θ_s分别为空气中的入射角和所述样品内的折射角，其大小由菲涅耳定律确定，N_s为所述样品的复折射率，n₀为所述照明光源在空气中的折射率。

8.根据权利要求7所述的体散射光学材料表面微缺陷检测装置的检测方法，其特征在于：所述菲涅耳定律为：

n₀sinθ₀＝(n_s-ik_s)sinθ_s (3)

其中n_s、k_s分别为样品的折射率和消光系数。

9.根据权利要求8所述的体散射光学材料表面微缺陷检测装置的检测方法，其特征在于：所述样品的复折射率N_s由以下公式得出：

Ns＝n_s-ik_s (4)

10.根据权利要求4所述的体散射光学材料表面微缺陷检测装置的检测方法，其特征在于：所述参考值选为2。